나노측정 및 표면 분광학 최종 정리 족보

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SEM/EDS
-metal oxide 등의 물질을 측정시 secondary electron이나 backscattered electron의 에너지가screening effect에 의해 왜곡됨으로써 정보·이미지가 왜곡될 수 있다. 이를 해결하기 위해carbon, Pt, Au 등의 물질을 sample에 얇고 균일하게 코팅하여 charged 된 전하를 제거해야 한다. polymer의 경우 고온환경이나 고에너지환경에서 손상을 쉽게 받는데, 특히 SEM으로 국소영역에 focusing 하여 관측할시 focusing 하지 않았던 부위와의 재료적 차이가 크게끔 contamination 되므로 낮은 진공도 환경에서 본다.

Astigmatism(비정수차)
-Electron beam이 비대칭일 때 샘플로 들어갔던 전자가 형성하는 Secondary electron이나Backscattered electron이 symmetric 하지 않아서 이미지가 왜곡될 수 있는데, 이 문제를 해결하기 위해 magnetic field를 8방향 등에서 걸어주어 이미지의 왜곡을 줄일 수 있다. 이 때 사용되는 장치를 Stigmator라고 한다

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