Pb(Zn1/3Nb2/3)O3-Pb(Ni1/3Nb2/3)O3-PZT와 PLZT를 경사조성으로 하는 경사기능 압전엑튜에이터의 제조와 물성

서지정보

ㆍ발행기관 : 한국재료학회 ㆍ수록지정보 : 한국재료학회지 / 3권 / 3호
ㆍ저자명 : 김한수, 최승철, 최진호

한국어 초록

4.5 Pb(Zn1/3Nb2/3)O3-40.5Pb(Ni1/3Nb2/3)O3-55PZT와 PLZT(10/70/30, 11/60/40)를 경사조성으로 하여 경사기능 재료를 제조하였으며, 그 유전 특성과 압전 변형율 특성을 조사하였다. 경사기능재료는 A/B/A의 세층으로 성형하고 소결한 후 한 층을 연마해내어 제작하였다. 닥터블레이드용 슬립에는 acrylic계 유기 결합제가 34-36wt% 혼합되었으며, 건조 후 균열이 없는 양호한 thick film을 제조하였다. 1250˚C, 2시간의 소성에 의해 경사기능화된 시편은 Nb와 La등의 조성 차이에 의한 구배를 이루었으며, 구배영역은 약 30μm 정도였다. 경사기능재료에서 유전상수나 큐리온도롸 같은 유전특성은 조합한 조성층의 특성들사이의 값을 나타내었다. 인가 전압에 따른 변형율 특성은 단일 조성의 시편보다 현저하게 증가하였다. 실제로 경사기능 압전엑튜에이터를 제조한 결과 약 3μm/100V 정도의 변위향을 나타내었다.

참고 자료

없음