[sem] 몬테카를로법을 이용한 시뮬레이션

목차

1. 몬테카를로법을 이용한 시뮬레이션

본문내용

SEM의 전자의 산란 중 탄성 및 비탄성 산란이 다중 산란 과정일 경우의 거동을 생각해보면, 이러한 산란 과정을 취급하는 방법으로는 볼츠만 방정식에 의한 방법과 몬테카를로법에 의한 방법이 있다. 여기서 몬테카를로법은 계산에 아주 많은 시간이 걸리지만 실험에 즉응한 시뮬레이션을 할 수 있으므로 실용적으로 널리 쓰이고 있다. 이 방법은 그림에 표시한 바와 같이 각 전자 하나하나의 산란각 Ѳ, 그 방위각 Ф, 에너지 손실 ∆E, 평균 자유행로 λ를 난수표에 의해 확률적으로 구해간다. 우선 아주 간단한 Ф의 구하는 법을 생각해 보자.

참고 자료

없음