펌프의 종류와 원리

소개글

펌프의 종류와 원리 보고서

목차

1. Rotary Pump (대기압~Torr 까지 가능)
2. Turbo Molecular Pump (Torr 까지 가능)
3. Cryo Pump (Torr 까지 가능)
4. Diffusion Pump (Torr 까지 가능)
5. Roots Pump (Torr 까지 가능)
6. Ion Pump (Torr 까지 가능)
7. Absorbtion Pump (대기압Torr 까지 가능)
8. 여러 가지 진공펌프의 작동범위

본문내용

1. Rotary Pump (대기압~Torr 까지 가능)
Rotary vain pump
일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프로, 기본 원리는 옆의 그림과 같습니다. 그림에서 보면 내부 구조가 로타 베인 및 실린더로 되어 있는데, 로타의 중심과 실린더의 중심은 편심되어 있습니다. 베인은 스프링 또는 원심력에 의해서 실린더 내면에 밀착된 상태로 돌아가게 되는데, 이때 베인과 베인 사이에 공간이 새기게 되고, 이 공간은 로타의 회전에 따라 용적이 달라지게 됩니다. 한쪽 베인이 흡기부를 지나면서 공간의 용적은 점차 커지게 되고, 다음 베인이 흡기부 끝단을 통과할 때 공간용적은 최대가 됩니다. 이렇게 하여 흡기부로부터 빨아들인 공기는 다음 단계에서 압축이 되고 이것이 배기부를 지나면서 배출이 되는 것입니다. 로타리 베인 펌프의 최대 진공도는 1+10Torr정도의 영역에 그치고 있으나, 루츠펌프 및 확산펌프와 연결되어 고진공이 요구되는 공정에도 다양하게 쓰이고 있으므로, 오늘날 산업 전반에 걸쳐 가장 널리 쓰이고 있고 기종이라 할 수 있습니다.

참고 자료

1. 안일신, ‘진공물리 및 진공기술’, 한양대학교 출판부, 1999
2. A.ROTH, 'VACUUM TECHNOLOGY', NORTH HOLLAND
3. http://wjvaccum.co.kr/contact3.html. 우진진공. 고객지원. 진공의 기초이론.