주사전자현미경(SEM)

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주사전자현미경

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1) 주사전자현미경(SEM)이란?
주사전자현미경은 1938년 Von Arddenne에 의해 만들어졌으나, 그 당시에는 불과 몇 개의 SEM이 실험용으로 제작되었으며, 1942년에 주사전자현미경을 이용한 몇 편의 논문이 나왔다.
40년대 중반 및 말기에는 주로 SEM의 개발에 많은 노력을 기울였으며, 그 결과 1965년 Oatley가지 형태의 주사전자현미경이 개발되어 시판되고 있다. 주사전자현미경은 secondary electron(2차 전자), back-scattered electron, X-rays, visible light, infrared energy 등의 서로 다른 전자선에 의해 유도된 signal로부터 얻은 다양한 전보를 가질 수 있기 때문에 모든 물체의 표면관찰과 화학물질의 조성과 전기적 성질 및 물질의 상호관계까지도 규명할 수 있다. 또한 주사전자현미경은 광학현미경, 형광현미경과 비교할 수 있는 상을 맺을 수 있는데 초점심도가 매우 크기 때문에 주로 입체적인 상을 얻을 수 있고 시료의 제작도 매우 간편하며, 경우에 따라서는 화학적인 처리 없이 간편한 물리적인 조작으로 생체시료를 있는 그대로 관찰할 수 있다.
이와 같이 전자 및 전자기파(electromagnetic wave)를 신호로 하여 브라운관(Cathode Ray Tube, CRT:전자기파의 양의 다소를 나타낸 것이다. 주사전자현미경에서는 보통 2차 전자를 주된 정보로서 사용하는데 이 2차 전자의 발생량은 시료표면의 요철에 의한 것이므로, 이 장치로서 시료 표면의 형태를 알 수 있다.
2) 주사전자현미경의 원리
전자 현미경은 일반 광학 현미경과는 달리 전자원이ron(2차 전자)이다. 이 전자는 시료 표면에서 10 nm 이하의 깊이에서 발생되므로 거의 시료 표면의 정보만을 갖고 있음을 알 수 있다. 즉 시료 표면 이미지를 의미한다.
3) 주사전자현미경의 기능

참고 자료

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