진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착 예비보고서

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재료공학실험입니다.

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<재료공학 실험1>
Ⅵ. 진공 증착기를 이용한
Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착
(예비 보고서)
신소재공학부
1. 실험 목적
진공증착 장비를 이용한 박막증착 실험을 통하여 진공 및 진공장비의 원리를 이해하고, 박막의 제조와 분석을 통해서 진공과 박막의 기본개념을 이해한다.
2. 실험 예비 문제
1) 진공에 대해서 조사하시오.
진공의 사전적 의미는 물질이 전혀 존재하지 않는 공간이다. 진공상태는 인위적으로 만들어 내기가 상당히 힘들다.
진공상태를 만들기가 매우 어렵기 때문에 실제로는 1/1000mmHg 정도 이하의 저압을 진공이라 하고, 그렇게 진공으로 만든 용기 내에 남아 있는 기체의 압력을 그때의 진공도라 한다.
진공전구의 진공도는 mmHg, 수신용 진공관은 mmHg, TV 브라운관은 mmHg 정도이다. 현재 인공적으로 도달할 수 있는 최고진공도는 mmHg 정도인데, 이때에도 당 약 3만 5000개나 되는 기체분자가 남아 있다고 한다.

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