Thermal evaporation system(재료공학 실험)

소개글

교수님께 칭찬받은 A+ 레포트
기말고사 발표용 PPT 자료 아주 잘 만들어졌습니다~

목차

1.장치의 구성
2.장치의 구성
3.chamber
4.qcm
5.압력측정장치
6.Oil diffusion pump
7.System
8.System
9.System
10.작동방법

본문내용

Quartz Crystal Microbalance : 수정판(quartz crystal)에 교류전압을 가하면 수정진동자가 일정한 주파수로 진동함. 수정진동자의 전극 표면에 흡착이나 탈착에 의한 질량의 변화가 일어나면 진동수가 변하게 됨 , 이 변화를 측정하여 박막의 두께변화로 해석

Convectron gauge (대류 게이지)
: 저진공 영역 게이지 ,
열손실 센서로 대류열의 변화를 감지
( ~ 10-3 까지 측정)

Ionization gauge
: 고·초고진공 영역 게이지. 기체를 이온화하여 양이온이 된 기체 분자의 개수를 이온 전류로써 측정. 이온 전류가 기체 분자 밀도에 비례함을 이용하여 압력 측정.
(10-3 ~10-10 까지 측정)

참고 자료

없음