재료공학실험-실리콘 웨이퍼의 결정 방향과 구조에 대한 분석

목차

(1)실리콘 웨이퍼란?
(2)실리콘 웨이퍼의 결정 방향
(3) 실리콘 웨이퍼의 구조
(4) 실리콘 웨이퍼의 결정방향과 구조의 분석.

본문내용

(1)실리콘 웨이퍼란?
땅속의 원소 중 가장 많은 원소가 산소이고 그 다음으로 많은 원소가 규소, 즉 실리콘이다. 이 실리콘을 정제하여 단결정으로 만든 것이 실리콘 잉곳인데 , 이 실리콘 잉곳을 수백 나노미터의 두께로 얇게 절단하여 한 쪽 면을 거울같이 매끈하게 연마하면 실리콘 웨이퍼가 된다. 실리콘 웨이퍼는 집적 회로를 만드는 토대가 되며 집적회로는 실리콘 웨이퍼의 표면에 만들어진다.

(2)실리콘 웨이퍼의 결정 방향
실리콘의 입체적인 구조는 오른쪽 그림과 같이 다이아몬드 구조 이다.
격자의 기본 치수는 5.43 Å 이다.
이 구조는 세 가지의 평면을 가질 수 있다.
오른쪽 정사각형 모양의 한 모서리를 직교 좌표계의 원점이라고 생각하면, x축 방향, y 축 방향, z 축 방향으로 교차하는 평면의 위치를 가지고 아래와 같은 평면을 나타낼 수 있다.

(100) 방향은 세 좌표축 중에서 한 개만 교차하는 경우이다.
(110) 방향은 두 개의 좌표축과 교차한다.
(111) 방향은 세 개의 좌표축과 모두 교차하는 경우이다.

참고 자료

http://w3.kunsan.ac.kr/~material/txt/semiconducter/unitprocess.doc
http://www.semiclub.co.kr/jboard/?p=detail&code=infomall003&id=99&page=3&mode=srch&what=comment&request=100