SEM의 작동원리와 이를 이용한 생체 재료 구조에 대한 연구
- 최초 등록일
- 2014.06.12
- 최종 저작일
- 2013.09
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목차
1. SEM 이란?
2. SEM의 작동 원리
3. SEM 적용 범위
4. SEM을 이용한 생체 재료 구조 연구
5. 참고문헌
본문내용
1. SEM (Scanning Electron Microscope) : 전자 주사 현미경
물질 표면에 전자 빔을 주사함으로써 표면으로부터의 반사되는 전자나 2차 전자에 의해서 물질 표면의 형상이나 구성을 관찰하는 장치
시편의 표면형태를 관찰하거나, 방출되는 특성 X선을 EDS(Energy dispersive spectroscopy)를 이용, 시편의 성분을 정성 및 정량적으로 분석하는 장비
2. 광학 현미경 vs. 전자 현미경
현미경에서는 일반적으로 파장 이하의 분해능은 얻을 수 없다. 광학 현미경에서는 광선의 대략 4,000옹스트럼이므로 보통 1,500배까지의 확대가 가능하다.
전자 현미경은 전자선을 이용한 현미경으로 5만볼트 이상으로 가속된 전자는 그 파장이 광선 파장의 10만분의 1정도가 되므로 전자선을 이용하면 광학현미경의 수만배의 배율을 갖는 현미경을 얻을 수 있다. 따라서 광학현미경으로는 볼 수 없는 미세한 부분까지도 선명하게 볼 수 있다
가속전압을 높일수록 전자선의 파장은 짧아져서 높은 분해능을 얻을 수 있어 수백만볼트의 초고압 전자현미경이 제작되고 있다.
참고 자료
Reimer, L. (1998) Scanning electron microscopy : physics of image formation and microanalysis. Springer, 527 p.
위키피디아(n.d.). http://en.wikipedia.org/wiki/Main_Page 2013년 5월 28일 검색
네이버 지식 백과(n.d.). http://terms.naver.com/entry.nhn?cid=339&docId=9157&mobile&categoryId=339 2013년 5월 28일 검색
Nurian의 신비한 현미경 세계(2007. 5. 15), “주사전자현미경(SEM)이란?”, 네이버 개인 블로그, http://blog.naver.com/nurian?Redirect=Log&logNo=50017437883 에서 검색
채종민(경북대 의과대학), “주사전자현미경 검사의 활용”