스퍼터링 장비(펌프,게이지,Sccm)

목차

1. 오일로터리 펌프, 터보 펌프
1) 오일로터리 펌프
2) 터보 펌프

2. 이오닉게이지, 컨벡션게이지, 바라트론 게이지 작동원리
1) 이오닉 게이지
2) 컨벡션 게이지
3) 바라트론 게이지

본문내용

펌프 내에 원통형의 공간이 있고 기체분자가 들어오는 흡입구와 밖으로 내보내는 배출구가 있다. 그리고 실린더 안에는 오일이 있어 윤활유의 역할과 마찰열의 냉각, 그리고 장치들의 틈을 막아주는 역할을 하고 있다. 또한 중앙에는 원형의 로터가 달려 있어서 매우 빠르게 회전하고있다. 로터에는 베인이라는 장치가 있다. 1차 펌프로 사용하여 초기 배기를 하고 있기 때문에 아주 중요한 역할을 한다. 내구력이 크고 수명이 길며 쉬운 운영 및 유지보수가 가능하다. 효율 또한 상당히 높고 크기와 진동이 작은 편이다.

<중 략>

터보펌프는 고속 모터의 중심에 간격을 따라 회전디스크(로터)와 고정디스크가(스테이터) 번갈아 달려있고 각각의 디스크에는 날개(블레이드)가 촘촘히 달려있다. 터보는 보통20,000rpm 이상의 고속으로 축에 달린 디스크를 회전시키고 이때, 흡기구를 통해 디스크 사이로 공기가 유입되면 블레이드에 충돌하게 되어 배기구 쪽으로 이동하게 된다. 각각의 블리이드들은 배기구 쪽으로 갈수록 각도가 깊고 촘촘하다. 터보펌프는 상당히 고속으로 회전하기 때문에 매우 정밀하게 가공되어야 하고 정확한 수평으로 균형이 잡혀야한다. 보통 2차 펌프로 사용되는데 1차펌프가 필요한 진공도 까지 먼저 배기를 해놓아야 한다. 배기능력이 저하되면 배기구쪽에서 흡기구쪽으로 역류 할 가능성도 있는데 옆의 그림에서 보면 두 개의 칼날이 있다. 회색 칼날은 고속으로 회전하는 로터이고 초록색 칼날은 스테이터 이다. 로터에 의해 공기 분자가 부딪혀 스테이터 방향으로 날아가면 스테이터의 방향과 모양 때문에 다시 역류를 방지하는 역할을 하게 된다.

<중 략>

고진공에서 흔히 사용하는 게이지로 이오닉 게이지는 원자나 분자에 에너지를 가하면 전자를 잃고 전하를 띠는데 이 전하를 띤 양이온들을 이온전류로 바꿔 측정하는 방법이다.

참고 자료

없음