주사전자현미경 SEM (Scanning Electron Microscopy) 분석방법

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주사전자현미경 SEM (Scanning Electron Microscopy) 분석방법 PPT 교안

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■ SEM 이란? (Scanning Electron Microscopy)
시료표면에 1~100 nm 정도의 미세한 전자선을 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 이차전자, 반사전자, 투과전자, 가시광, 적외선, X선, 내부 기전력 등의 신호를 검출하여 모니터에 확대상을 표시하며, 시료의 형태, 미세구조의 관찰이나 구성원소의 분포, 정성, 정량 등을 분석하는 장치이다.

■ SEM 측정 원리
자기렌즈를 이용하여 가늘게 집속된 전자빔을 시료표면에 주사함으로써 시편에 입사되는 전자들과 시편 내에 포함된 원자 및 전자들이 상호작용하여 이차전자, 후방산란전자 등이 방출되며, 적절한 검출기를 통해 이들을 포집하여 디지털 신호로 변환시킨다. 디지털 신호로 획득된 신호는 컴퓨터에서 적절한 알고리즘에 의해 재해석한 후 영상으로 모니터에 출력 또는 저장된다.
전자현미경은 광선 대신에 전자 빔을 사용하기 때문에 현미경의 내부는 진공상태여야 한다. 전자는 공기와 충돌하면 에너지가 소실되거나 굴절되는 등 원하는 대로 제어하기 어렵기 때문이다.

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