진공게이지의 정의와 종류

*혜*

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진공게이지(=진공계) 대기압보다 낮은 기체의 압력을 측정하는 기기
기계적으로 압력을 직접 측정하는 진공계와 기체의 수송현상을 이용하는 진공계 및 기체의 입자 밀도를 측정하는 진공계로 대별

저진공 게이지 피라니 게이지(Pirani gauge)
게이지 내부에 Pt 나 Pt-Rh 로 만든 필라멘트가 하나 달려있고, 이 필라멘트는 항상 일정 온도를 유지하고 있다. 여기에 기체분자가 지나가면서 필라멘트와 만나게 되면 필라멘트는 기체에 열을 빼앗기게 된다. 하지만 필라멘트는 일정 온도를 유지해야 하므로 열 손실 만큼을 보상하기 위해 전압(or 전류)가 변하게 된다. 이때의 전압이나 전류변화를 측정하여 압력으로 환산해 내는 것이며, 압력이 높으면 열손실이 커 보상 전압이 높고, 압력이 적으면 열손실이 적어 보상 전압이 낮으므로 이들의 비례관계를 입력해 놓고 측정 즉시 환산 값을 수치로 나타내 보여준다.

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