CVD, PVD의 이해

소개글

CVD, PVD 이해
건식 도금법 종류

목차

1. 건식도금법의 발달
2. 건식도금법의 종류

본문내용

1. 건식도금법의 발달
흔히 알고 있는 도금법으로는 대부분 습식도금을 많이 사용해왔다. 이것은 시편을 특정한 용액속에 담가 전기 도금 또는 무전해도금등의 방법으로 시편 표면에 원하는 물질을 석출 시키는 방법이다.

<건식 도금의 장점>
-. 이 방법은 매우 간단하며 저렴하다
-. 시편의 모양에 그다지 영향 받지 않는다.
-. 한번에 많은 양의 도금을 할 수 있다.

<건식 도금의 단점>
-. 원하는 화합물의 조성을 마음대로 조절 하기 힘들다.
-. 크롬도금으서 발생하는 6가 크롬의 문제, 중금속 오염, 다량의 폐수 발생문제
-. 환경오염 및 인류 건강 문제

그래서 도금시 액체를 사용하지 않는 건식도금법이 발전하였다.

2. 건식도금법의 종류
화학적 기상 증착법 (CVD)
<특징>
-. 접착력이 우수
-. 복잡한 형태의 기판에 균일한 증착 가능
-. 고순도 물질의 증착 용이
-. 선택적으로 국부적인 증착 가능

<적용범위>
-. 내마모, 내식성 코팅에 사용

<기본 원리>
-. 기판에 증착 하고자 하느느 물질을 고체가 아닌 기체상태인 가스로 주입하고, 반응 챔버 내의 기판위에서 고온 분해 또는 고온화학반응을 통해 증착시키는 방법

참고 자료

없음