연세대학교 신소재공학과 재료공학기초실험 SEM 주사전자현미경

목차

1. Background
2. Experimental Procedure
3. Result and Discussion
4. Conclusion
5. Question

본문내용

1. Background
SEM 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)은 고체 상태에서 작은 크기의 미세 조직과 형상을 관찰할 때 널리 쓰이는 현미경으로서 복잡한 표면구조나 결정 외형 등의 입체적인 형상을 높은 배율로 관찰할 수 있는 분석 장비이다. 전자현미경은 광학현미경(Light Microscope)에서 사용하는 가시광선(visible rays) 대신 전자선(electron beam)을, 또한 유리렌즈(glass lens) 대신에 전자렌즈(electron lens)를 사용하여 물체의 확대상을 만드는 장치를 말한다.
SEM은 집광렌즈(condenser lens)와 대물렌즈(objective lens)를 가지고 있으나, 광학현미경이나 투과전자현미경(TEM)처럼 빛의 법칙에 따라서 화면을 형성하지 않고, 전자기렌즈가 전기가 통하는 시편의 표면에 초점을 형성한 전자빔 spot을 형성하고 이 spot이 관찰하고자 하는 시편 부위를 주사하여 영상을 형성한다.

참고 자료

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Physical and dielectric properties of BaTiO3 – fluoride–glass systems for nitrogen-fireable embedded capacitors / Byeong Kon Kim / 2008
세라믹재료의 기초와 응용 / 일본세라믹스협회 / 2003.09
물질과학의 이해 / 천병수, 유종수 / 2010.05
소성(하소) (https://ko.wikipedia.org/wiki/Calcination)