Thin Film-두께에 따른 electrical property 와 spectroscopy 분석

목차

I. 실험목적 (Purpose)
II. 실험이론 (Experimental Theory)
III. 실험재료 (Materials)
IV. 실험방법 (Method)
V. 실험결과 (Result)
VI. 결론 및 고찰 (Conclusion and Discussion)

본문내용

현재 휴대폰에 들어가는 투명필름의 재료로 ITO 필름을 가장 많이 이용하고 있다. ITO(Indium Tin Oxide)는 전기전도도가 높고, 재료의 비저항과 면 저항이 작고 가시광선 영역에서 빛을 투과하는 비율이 많아 지금까지 잘 사용되고 있었다. 하지만 Indium의 고갈 위기와 물리적 구부림에 취약해 깨지기 쉬운 ITO의 단점으로 인해 Metal Mesh, CNT, 은나노와이어 등의 대체제를 찾고 있다. 우리는 이러한 투명 전극의 제조 방법을 알아보고 제조 방법 중 하나인 Spin-Coating을 직접 하여 Organic Thin Film을 제조하였다. Spin-Coating의 속도를 다르게 하여 만든 Organic Thin Film의 두께에 따른 전기전도도, 저항성, 투과도 등을 알아보고 어떤 두께의 Organic Thin Film이 투명필름, 투명전극으로 사용하기에 알맞는지 알아볼 것이다.

실험 이론
1.Thin Film
1)박막 증착
Thin Film(박막)이란 일반적으로 두께가 1마이크로미터 이하의 얇은 막이고 Bulk material들과 다른 성분을 가져 전기, 광학, 기계, 화학 등의 분야에 다양하게 응용된다. 박막을 웨이퍼 위에 만들어 전기적인 특성을 갖게 하는 과정을 박막 증착이라고 한다. 이는 Micro-electronics와 집적 회로 개발의 핵심이다. 박막 증착에는 물리기상증착법(PVD), 화학기상증착법(CVD), 스핀온글라스(SOG), 도금이있다.

2)증착의 필요 스펙
박막을 만드는 방법이 다양한 이유는 필요한 스펙이 다양하기 때문이다. 증착 시 필요한 스펙에는 4가지가 있다.
- Quality(품질) : 전기적 특성, 물리적 특성의 품질
- Thickness Uniformity(두께 균일도) : 웨이퍼의 균일도, 웨이퍼-to-웨이퍼 균일도 등등
- Step Coverage : 단차에서의 일정한 두께를 유지하는지 여부
- Filling : 단차 사이 공간을 잘 채우는지 밑의 <그림3>에서 사이 공간을 증착으로 채우다 보면 단차 사이 안쪽이 잘 안 채워져 (c)처럼 채워지게 된다.

참고 자료

https://en.wikipedia.org/wiki/PEDOT:PSS
http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=605915&cid=42420&categoryId=42420
http://blog.naver.com/youngdisplay/220481213209
http://blog.naver.com/ckbc6101/220966477075
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https://en.wikipedia.org/wiki/Beer%E2%80%93Lambert_law
http://m.kin.naver.com/mobile/open100/detail.nhn?d1id=11&dirId=1115&docId=1469975&qb=cG9pbnQgcHJvYmU&enc=utf8&section=kin&rank=3&search_sort=0&spq=1&from=detailSearch&listType=search
http://www.happycampus.com/doc/11085694