알파스텝 측정 및 접촉각 이론

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최초 등록일: 2020.02.07
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"알파스텝 측정 및 접촉각 이론"에 대한 내용입니다.

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1. 실험 목적
-알파스텝을 이용하여 박막 두께를 측정하고 결과값을 확인한다.
-Current와 진공도의 변화에 따른 박막 두께의 차이를 알파스텝을 이용해 알아낸다.

-접촉각의 이론적인 내용을 습득한다.
-접촉각의 친수성, 소수성 등의 성질이 금속에 따라 어떻게 다르게 나타나는지 알 수 있다.

2. 알파스텝
①이론적 배경
Wafer 표면 위에 단차가 있는 박막의 두께 (수 Å이상) 및 Step Profile을 측정하기 위하여 개발한 장비로 그 조작이 간단하고 쉬워 널리 사용되고 있는 박막 두께 측정 장비이다. 장비에 달린 탐침이 Wafer 표면을 긁고 지나감으로써 표면 단자의 변화로 발생하는 압력을 감지하여 그 단차의 두께를 측정한다.

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