AFM(원리, 접촉모드, 비접촉모드, 탬핑모드)

소개글

"AFM(원리, 접촉모드, 비접촉모드, 탬핑모드)"에 대한 내용입니다.

목차

1. 나노
2. AFM이란?

본문내용

식각공정(Etching) 이란?
- 포토공정에서 형성된 (PR) 부분을 남겨두고, 산화막의 나머지 부분을 제거하는 과정

※ Etching 종류
식각공정(Etching)
건식 식각 (Dry etching)
습식 식각 (Wet etching)

.AFM
Atomic Force Microscope (원자현미경)
.나노 미터급 원자단위 측정
.STM의 가장 큰 결점인 전기적으로 부도체인 시료는 볼 수 없다는 것을 해결

.AFM 원리
1. 사료 표면의 원자와 탐침 끝의 원자간 상호작용 발생 (인력 /척력발생)
2. 이 척력과 인력이 캔틸레버를 휘게 하여 위쪽에 조사된 레이저가 각도와 방향 등이 변화를 일으켜 포토다이오드에 반사
3. 이 포토다이오드는 탐침 궤도를 따라 반응하여 구부러지는 캔틸레버의 위치를 측정해 시료 표면의 형상이미지(굴곡)를 3D로 그림

참고 자료

없음