(Report) O Ring 및 Coupler의 NMP Dipping Test (Perfluoro)

소개글

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목차

1-1. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 결과
1-2. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 後 Image 비교 사항
1-3. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 방법
1-4. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 준비
1-5. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 준비 時 사전 침적 세정 결과

2-1. Coupler의 NMP Dipping Test 준비 時 사전 침적 세정 결과
2-2. 개별 Coupler의 NMP Dipping Test 前/後 Wiper CLN Image
2-3. Coupler Dipping Test 7일 침적 後 Metal Data 변동 비교 사항
2-4. Coupler의 NMP Dipping Test 방법
2-5. Coupler의 NMP Dipping Test 준비

본문내용

1-1. O-Ring (Perfluoro 재질)의 NMP Dipping Test 결과

결론) 1. Particle : Sample#7의 경우가 7일 경과 時 Max인 2,053ea 측정되었으며, Sample#8의 경우 7일 경과 後 1,329ea 측정되어 1일 경과 後 측정한 Sample#2보다 낮은 수준 검출됨
➜ 개별적인 O-Ring의 특성에 따라 Particle의 수준은 달라지며, 7일 침적한 Sample이 1일 침적한 Sample보다 낮은 수준 검출된 것으로 미루어 NMP에 장기 침적 진행하더라도 Particle이 지속 용출되어 수준이 증가한다고 판단되지는 않음

참고 자료

없음