TTTM(Tool To Tool Matching)
- 최초 등록일
- 2023.11.25
- 최종 저작일
- 2023.11
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소개글
"TTTM(Tool To Tool Matching)"에 대한 내용입니다.
목차
I. 서론
II. 본론
1. 정의
2. 필요성
3. 장비관점 Tuning 구분
4. TTTM을 위한 사전 준비사항
5. Matching 기준
6. Matching 기준
7. 고려사항
III. 결론
본문내용
서론
반도체를 포함한 하이테크 제품 생산 공정은 매우 복잡하다. 특히 4M1E에 해당하는 사람(Man), 설비(Machine), 소재(Material), 방법(Method), 환경(Environment)에 의해 많은 영향을 받는다. 특히 설비는 많은 공정변동의 원인이 된다. 본 보고서에서는 이러한 설비에 의한 변동을 최적화하기 위해 최적 설비를 찾아 이를 참고하여 나머지 설비에 대한 제어를 수행하는 방법 중 하나인 TTTM에 대해서 알아보도록 하겠다.
본론
1. 정의
1. - Fab내 동일 스펙의 여러 장비 중에 가장 성능이 좋은 장비로 나머지 장비도 상향 평준화 시키기 위한 솔루션이다.
참고 자료
이선용(2021), 디스플레이 장비 기업의 AI기술 활용사례와 필요성, 한국인공지능협회, 한국디스플레이산업협회
http://pal.snu.ac.kr/index.php?mid=board_qna_new&page=2&document_srl=79294
https://www.kriss.re.kr/departmentWeb/department2deptsView.es?mid=a10203020100&kd2_code=1000030
https://blog.naver.com/plaaazz123/222843057454