[재료공학실험] 박막증착실험(진공, pvd, cvd)

목차

1.진공
2.cvd
3.pvd
4.referece

본문내용

1. 진공(vacuum)
진공이란 단어의 의미상 물전혀 존재하지 않는 공간을 이야기한다. 그러나 실제로 완전한 기체압력이 대기압보다 낮은 상태, 즉 분자밀도가 약2.5×1019분자/cm3보다 적은 상태를 의미한다. 또 진공으로 한 용기 내에 남아 있는 기체의 압력을 그 때의 진공도라 한다. 진공은 진공펌프를 써서 용기 속의 기체분자를 뽑아내어 얻게 되는데 진공도를 유지하는 데는 진공건조기와 같은 조립장치나, 전구, 진공관처럼 배기 후에 용기를 밀봉하는 벙법 등 몇 가지의 다른 기술들이 있다. 진공은 압력차에 의한 힘의 발생, 극청정 환경 제공, 단열효과, 입자의 장거리 비행가능, 증발과 승화작용, 안정된 플라즈마를 유지, 생화학 반응 억제, 우주환경 제공 등의 특성이 있다.

참고 자료

진공물리 및 진공기술, 안일신, 한양대출판부, 1999
http://www.postech.ac.kr/ce/lamp/main.html