SBT 박막제조와 누설전류, 정전기용량 측정 결과 보고서

소개글

SBT 박막제조와 누설전류, 정전기용량 측정 결과 보고서

목차

■ 실험목적

■ 실험방법

■ 실험결과

■ 고 찰

■ 대표적 강유전체의 구조

■ 참고문헌

본문내용

■ 실험목적
SBT 박막 증착과정을 통해 유전체의 성질을 알고, 반응 온도 및 두께를 설정하여 온도 및 두께에 대한 누설 전류 및 정전기 용량을 측정하는데, 이 실험의 목적으로 정한다.
정보화 사회의 필수 시스템인 반도체 소자의 재료로 사용되는 다양한 세라믹스 재료와 금속 재료의 제조법 및 물성 측정방법을 알아보고 전자부품의 소형화, 경량화, 직접화를 가능하게 하는 박막 공정을 공부한다.
강유전체 물질을 Si 기판위에 박막으로 증착하고 이들 박막의 유전 및 절연 특성을 측정하고 관찰함으로써 총체적으로 재료의 전자기적 특성을 이해할 수 있는 능력을 배양한다. 한편 전자산업에 쓰이는 각기 다른 전기적 특성을 가지는 재료들이 어떻게 활용되는가에 대해 이해하고 재료공학도로써 재료를 설계할 때, 어떠한 전기적 특성들을 고려하고 평가할 것인가에 대한 안목을 키운다.




■ 실험방법
① NH3OH - H2O2 - Di water = 1 : 1 : 5 (부피) 교반기를 사용하여 10분동안 끊임 (온도 70°)
- 이는 유기물 흡착 및 금속 이온을 제거

② HCl : H2O2 : DiH2O = 1 : 1 : 6 (부피) 5-10분동안 끊임 (온도 70°)
- 이는 Cu, Au 같은 물질을 제거

참고 자료

○ ZrO2 완충층과 SBT 박막을 이용한 MFIS 구조의 제조 및 특성에
관한 연구(2002. 2월) 공학석사 논문
○ 비 휘발성 기억소자용 SrBi2Ta2O9 박막의 강유전체 특성,
조선대학교 재료공학과
○ 재료연구정보센터
http://www.icm.re.kr
○ 부산대학교 반도체 박막 실험연구실
http://home.pusan.ac.kr/~material/

○ 한국 세라믹 학회
http://www.ceramics.or.kr/home/kor/
○ krict
http://www.krict.re.kr/~tfml/XPS_AES.html#XPS
○ 인터넷 포털 네이버
http://blog.naver.com/blue74126?Redirect=Log&logNo=140013228921
http://blog.naver.com/elect94?Redirect=Log&logNo=60018139643
http://blog.naver.com/nanomate?Redirect=Log&logNo=110003145319
http://blog.naver.com/ssambaii?Redirect=Log&logNo=80019004734
○ 한국 광학회
http://www.osk.or.kr/
○ 전자공학회
http://www.ieek.or.kr/
○ 세라믹 재료학 강의 자료 (윤석영 교수님)