Soft Lithography 와 그의 특징, 종류 및 장․단점,PDMS 물질의 장·단점

소개글

- Soft Lithography와 그의 특징, 종류 및 장․단점에 대하여 조사
- PDMS 물질의 장·단점에 대하여 조사
- PDMS 물질을 대체하기 위해 개발되고 있는 여러 가지 물질에 대하여 조사
- Nano imprint Lithography와 Soft Nano imprint Lithography에 대하여 비교 조사

목차

1. Soft Lithography
1) Soft Lithography란?
2)Soft Lithography 의 종류
2.PDMS의 장·단점
1)장점

본문내용

- Soft Lithography와 그의 특징, 종류 및 장․단점에 대하여 조사
- PDMS 물질의 장·단점에 대하여 조사
- PDMS 물질을 대체하기 위해 개발되고 있는 여러 가지 물질에 대하여 조사
- Nano imprint Lithography와 Soft Nano imprint Lithography에 대하여 비교 조사
1. Soft Lithography
1) Soft Lithography란?
정합접촉의 효과를 높이고 간편한 공정을 지향하는 방식으로, 탄성 중합체(Elastomer) 재질의 PDMS 스탬프의 물리적 접촉을 이용하는 공정을 Soft Lithography라고 한다
Soft Lithography는 광자나 전자를 사용하지 않고 인쇄, 스탬프, 몰딩과 같은 보다 기계적인 수단을 사용한다. (그림1. 참조)
우선 실리콘 웨이퍼 표면에 전자빔 리소그래피를 이용하여 양각 패턴이 새겨진 마스터를 만들고 고무 중합체인 PDMS(Polydimethylsiloxane)의 화학적 전구체를 생성된 마스터 위에 붓고 탄성고체로 경화 시키면 PDMS 스탬프로 만들어진다. 일단 PDMS 스탬프가 제작되어 지면 이를 이용하여 micro contact 인쇄를 사용하거나 micromolding을 사용하여 50nm 정도의 나노패턴을 생성시킬 수 있다.

참고 자료

나노 테크놀로지와 기계 공학, 서울대학교, 최만수
http://plaza.snu.ac.kr/~mchoi/nanotech.pdf
http://sms.kaist.ac.kr/%7Eischoi/bk/lecture/class%2009.pdf
http://blog.naver.com/ioyou64.do?Redirect=Log&logNo=120019552834
http://www.kosef.re.kr/community/suica/upload/294_pdf_3.pdf
http://biozine.kribb.re.kr/bodo/bodo_view.html?code=vision&num=349&GotoPage=1&sname=&sval=
http://www.cheric.org/board/view.php?code=f05&seq=11402&page=7
http://cedb.postech.ac.kr/~pial/ko/reserch/reserch006.htm