ESCA(XPS)원리와 특징

소개글

ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis) 또는 XPS (X-ray photoelectron spectroscopy)라고 불리는 표면분석장비에 관한 원리 및 특징을 설명한 PPT자료입니다

목차

ESCA(XPS)의 역사
ESCA(XPS)의 이론 및 원리
ESCA(XPS)의 장비 구성 및 역할
ESCA(XPS)의 분석 및 응용
ESCA(XPS)의 장점 및 단점

본문내용

ESCA(XPS)의 역사
1887, H. Hertz: 광전효과(photoelectric effect) 발견
1897, J. J. Thompson: 전자 발견
1900, M. Planck: Quantum theory
1905, A. Einstein: Quantum theory로 광전효과 설명
1958, W. E. Spicer: UPS spectra와 DOS 관련주장
1967, K. Siegbahn: XPS (ESCA) 확립
1960년대 말 : 상업용 장비 판매 시작

ESCA(XPS)의 이론 및 원리
초고진공 중에 위치한 고체 표면에 특성 X-ray를 조사하여 시료내에 전자를 밖으로 튀어나오게 하여 그 전자의 운동에너지와 강도를 측정하는 것에 의해 물질 내에 있는 고유의 전자 결합에너지, 전자의 에너지 준위와 양을 아는 방법.
<중략>
응용분야
금속재료의 표면산화상태, 부식상태, 부동태 피막, 내식성 등의 구조 해석
반도체 기술 개발을 위한 여러 가지 실험조건에 의한 표면, 계면 상태 규명
무기산화물, 촉매, 세라믹스 등의 산화상태
금속 표면에서 가스의 흡착 및 탈착 연구
고분자 복합재료 연구
ESCA(XPS)의 장점 및 단점(1)
장 점
Charge up의 영향이 AES보다 적으므로 절연체 시료 분석이 용이
X선 조사에 의한 시료 손상은 전자선 조사에 비해 경미하고, 화학상태분석, (반)정량 분석이 용이
Ion sputtering, 각도분해법으로 비파괴 깊이방향 분석 가능

참고 자료

없음