[ 화공 실험 ] Vacuum deposition의 이해와 증착속도에 따른 압력 변화 측정/진공 증착/결과 보고서(화학공학)

소개글

진공증착 실험에 대한 전체적인 이해에 도움을 드립니다
필요한 수식에 대한 결과 데이터로 분석에 길잡이가 되어드립니다

목차

◆ ◆ 1. 실험목적
◆ ◆ 2. 실험순서
◆ ◆ 3. 실험결과
◆ ◆ 4. 고 찰

본문내용

◆ ◆ 1. 실험목적
진공 상에서의 물질의 증착을 이해하고, 압력에 따라 변화하는 챔버 안의 증발 분자량을 계산한다.

◆ ◆ 2. 실험순서
◇ 1. 기판세정
ultrasonic 10분간 돌리고 20분간 150°C로 dry oven에 말린다

◇ 2. 진공증착장치

〓〓 TURN ON 〓〓〓〓〓
① air leak를 잠그고, 그 외 밸브들이 잠겨있는지 확인. three way valve는 close 상태여야 함. (three way valve = rough way, close, fore way)
② diffusion pump를 냉각시키기 위해 Circulator를 켠다.
③ Main power를 켜고 Chamber 메인 파워를 on 시킨다.
④ 로터리펌프를 확인하기 위해 피라니 게이지를 켜고 압력을 측정하기 시작한다.
⑤ 로터리 펌프 스위치를 켠다.
⑥ 로터리 펌프로 진공을 만드는 것을 시작한 다음, three way valve를 fore의 방향으로 바꾼다.
⑦ diffusion pump와 그곳을 통하는 관을 진공상태로 만들 때, 압력이 13.3Pa 이하가 되면 diffusion pump를 on시킨다. 이 때, 냉각수 입구 밸브를 열어 diffusion pump의 열을 냉각시킨다. (20분 정도 대기)
⑧ three way valve를 rough way로 바꾸고, 메인밸브를 열면 chamber를 제외하고 진공상태가 된다.
⑨ 게이지에서 13.3Pa 이하의 압력이 된면 이제 three way valve의 방향을 다시 fore way로 바꾸고, 메인 밸브를 연다.
⑩ 메인 밸브를 열면, chamber 내부가 진공상태로 만들어지고, 이온화게이지로 측정한다.

〓〓〓〓〓 TURN OFF 〓
① vacuum gauge를 끄고, main valve를 off시킨다.
② gas 입구 밸브를 열고, chamber의 진공상태를 깨뜨리기 위해 Air Leak를 연다. (열지 않으면 oil이 역류하여, 장치가 망가진다.)
③ diffusion pump를 off 시키고, 열을 식힌다. (30분 정도)
④ diffusion pump가 식으면, three way valve의 방향을 foreway에서 close로 바꾼다

참고 자료

없음