head(15K), baffle(80K)등을 냉각한다. ㉢ 냉각된 표면이 기체분자를 붙잡는데 있어서 냉온응축(cryo-condensation)과 냉온흡착(cryo-sorption) ... 요즘은 자기부상의 원리 (magnetic levitation)로 마찰력을 줄여 아예 윤활유도 사용하지 않는 경우도 있고 ceramic ball을 사용하여 기름의 사용을 최소화하는 경우도 ... 오일 확산 펌프 오일 확산 펌프는 고진공 산업의 일군으로 오랫동안 알려져온 압축 펌프이며, 일반적으로 많은 가스량을 처리하는데 사용됐다.