[박막공정] 박막공정

소개글

[박막공정] 박막공정

목차

1. 박막이란 무엇인가?
2. 코팅공정의 분류 및 응용
3. 진공의 종류 및 응용
4. 진공펌프
5. Leak Detector
6. Plasma의 정의
7. 탄성충돌과 비탄성충돌
8. Dark space(sheath)와 Glow discharge
9. 플라즈마 생산방법
10. Plasma volume reactions and applications
11. Surface reaction
12. Evaporation
13. ARE와 다른 process와의 비교

본문내용

① Rotary vane pump : 저진공 용도로 가장 많이 사용되는 펌프로서, vane과 회전자에 의해 압축된 가스의 압력이 배출밸브를 열기에 충분할 정도로 높아지면, 밸브가 열리면서 가스가 배출되어 진공도를 낮춘다. 윤활제의 역할뿐만 아니라 회전에 의한 마찰열의 감소와 정지자와 vane사이의 공간을 막아주기 위하여 오일을 사용하게 되는데, 사용하는 오일의 증기압이 낮아야 좀더 낮은 압력까지 낮출 수 있고, 역류(backstream)에 의한 진공용기의 오염을 방지할 수 있다.

참고 자료

없음