SEM의 이미지 생성원리와 OM(광학현미경), SEM 의 차이점

소개글

SEM의 이미지 생성원리와 OM(광학현미경), SEM 의 차이점에 관해 쓴 레포트

목차

1. SEM image의 생성 원리에 대해서 설명하시오.

2. 관찰시 어떤 sample은 charging 현상이 일어난다. 이러한 현상이 일어나는 이유는 무엇이고, 문제점을 해결하기 위해선 어떤 조치를 취할수 있는가?

3. OM과 SEM의 image를 보고 차이점을 말하고 그 이유를 설명하시오.

Referece

본문내용

1. SEM image의 생성 원리에 대해서 설명하시오.
SEM은 오른쪽 그림에 나타난 바와 같이 나눠진다. 이 부분들은 전자빔을 발생시키고 조정하는 전자광학시스템, 빔에 의해서 특별한 정보신호를 나타내는 시편 정보 수집기 및 탐지시스템과 그와 관계되는 증폭기 그리고 한 개 이상의 화면시스템으로 구성된다. SEM은 TV화면과 비슷한 방법으로 미세하게 초점이 맞추어진 전자빔으로 시편을 scanning 하는 것으로서 전자빔과 시편이 충돌할 때 각 점에서 발생되는 신호를 detector로 감지하여 CRT(Cathod Ray Tube)에 반영하는 것이다. CRT의 명암 차이는 감지된 신호의 양에 의해서 시편의 영상을 나타내주며 주사발생장치(scan generator)는 현미경의 주사코일과 CRT를 조절하여 CRT면의 점이 1:1로 상응하게 한다. 이 때 CRT 표시면적은 통상 100mm×100mm로 정하므로 시편에 대해 10mm×10mm 면적을 scanning하면 배율은 100배로 되는 셈이며, 일반적으로 20~50,000배 정도가 가능하다.
SEM에 있어서 영상형성 과정은 광학현미경이나



3. OM과 SEM의 image를 보고 차이점을 말하고 그 이유를 설명하시오.
Optical Microscope image SEM image
(1) OM image에서는 grain boundary가 검은색 이지만 SEM image에서는 흰색이다.
①OM으로 형성된 image의 grain boundary가 검은색인 이유.
폴리싱을 거친 재료는 에탄올과 질산이 100:2의 비율로 섞인 etching용액을 이용하여 시편표면을 부식시킨다. 단상 결정립의 화학적인 반응은 결정학적 방위에 따라 차이가 있다. 따라서 다결정 시편에서 etching의 특성은 결정립마다 다르다. 또한 etching에 의해 작은 홈들이 grain boundary를 따라 형성된다. 결정립 구역의 원자들은 화학적으로 더욱 활발하므로, 결정 내부의 원자보다 더욱 빠른 속도로 etching된다. 현미경으로 관찰할 때, 이들 홈은

참고 자료

◎주사현미경의 기초/황인옥/반도출판사
◎투과전자현미경학 개론/성창모/반도출판사
◎Physical metallurgy principles/Robert E. Reed-Hill,Reza Abbaschan/Cengoge
learning
◎http://user.dankook.ac.kr/~enerdine/sem.htm
◎http://www.djs.hs.kr/@home/auto/home_auto.htm
◎http://spe.sysu.edu.cn/course/course/10/build/lesson6-2.htm
◎구글 이미지