SEM/EDS에 관한 보고서

소개글

SEM/EDS에 관한 보고서이며, 실험결과 보고서입니다.

비틀림 시편, 인장시편, 충격시편에 관해 SEM 촬영하고, 인장시편에 관해 EDS 촬영함.

목차

1. Introduction

2. Principle of SEM

(1) SEM의 이미지 생성
(2) SEM의 분해능

3. Instrument of SEM

(1) Electron gun

(2) Electromagnetic lens

(3) Detector

4. EDS

5. 시편의 준비

6. 파면해석

(1) 입계파괴

(2) 입내파괴

7. SEM 분석결과

8. EDS 분석결과

▶ 참고자료

본문내용

1. Introduction
전
자현미경(Electron microscope)이란、통상의 현미경(광학현미경)은 관찰하고자 하는 대상에 빛(가시광선)을 비춰서 확대하는 방법을 사용하는데 반해, 전자현미경은 가시광선 영역이 아닌 전자(전자선)를 주사하여 확대하는 현미경을 말합니다. 자장의 전자선에 대해 렌즈의 작용을 실험으로 확인한 것은 1927년 독일의 한스란 사람입니다. 최초의 전자현미경(TEM)은 1931년에 베를린 공과대학의 Max Knoll(1897년 6월 17일~1969년 11월 6일)와 Ernst August Friedrich Ruska (1906년 12월 25일~1988년 5월 25일, 독일 물리학자) 두 사람에 의해서 개발 되었습니다. 1986년 전자현미경의 기초연구와 개발의 공적으로 노벨 물리학상을 수상했습니다. 1938년 독일 지멘스에서 전자현미경을 판매하기 시작하였습니다. 주사선현미경(SEM)은 1937년 독일인 Manfred Alvrecht von Richthofen에 의해 처음으로 제작되었습니다. 1950년대부터 많은 분야에서 활용되었습니다. 또한 단파장의 전자선(가속전압의 향상)등에 의해 성능은 더욱 향상되었습니다.
보통 전자현미경을 주사 전자 현미경(SEM: Scanning
Electron Microscope )라 한다.
주사 전자총에서 나온 전자 빔이 화면을 형성하기 위해 텔레비전 화면과 카메라 촬상관의 타깃 영역에 처리되는 것.
전자 현미경

참고 자료

KS 출처 : http://www.kats.go.kr