주사전자현미경

소개글

주사전자현미경

목차

1. 개요
2. 개발 역사
3. 원리
4. 특징
5. 구조
6. 응용분야
7. 향후 전망

본문내용

주사전자현미경
◈ 개요
주사전자현미경(Scanning Electron Microscope) 은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데에 가장 다양하게 쓰이는 분석기기로서 50Å정도의 해상력을 지닌 것이 상품화되어 있고, 최근에 판매되고 있는 고분리능 SEM은 10Å이하의 해상력을 가지고 있다. 그리고 SEM의 초점심도가 크기 때문에 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 곡면 혹은 울퉁불퉁한 표면의 영상을 육안으로 관찰하는 것처럼 보여준다. 활용도도 매우 다양해서 금속파면, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질검사, 고분자 및 유기물, 생체시료와 유가공제품 등 모든 산업영역에 걸쳐 있다. 1942년에 Zworykin등에 의해 2차 전자에 의해 미세한 물질의 상의 명암을 얻을 수 있다는 발견을 기초로 하여 최초의 SEM을 설계하였다. SEM에서는 2차 전자 전류가 검출기를 통해 전압이 떨어지게 되고, 전압이 감소하는 것을 TV를 통해 상으로 나타나게 된다.최근에는 대부분의 SEM에 X선분석장치를 부착하여, 결정구조, 조성분석을 쉽고 효과적으로 할 수 있게 되었다.

<중 략>

◈ 향후 전망
나노기술의 발전 등 과학기술의 고도화 및 미세화로 인해 더욱 다양한 용도로 활용되고 있으며, 반도체/디스플레이, 나노 융합기술, 신소재, 기계부품, 생명과학 등 첨단산업 전 분야의 R&D, 품질관리, 교육을 위한 기반 인프라 기술이라 할 수 있다. 시장보고서들에 따르면 전자현미경 시장은 매년 시장규모가 12~13% 정도 성장하고 있으며, 2008년 1.8조원에서 2015 년 5조원 규모로 확장될 것으로 예상된다. 2008년도 전자현미경(SEM, TEM, EPMA 등) 세계시장 점유율은 Hitachi 32%, JEOL 29%, FEI 27%, 기타 12%라고 한다. [4,5,6] 일본은 국가적 차원에서 전자현미경 산업을 육성한 결과 60년대 후반부터 시계시장을 주도하고 있으며, Hitachi와 JEOL, Keyence 등이 세계시장의 60% 이상을 점 유하고 있다. 아직까지 우리나라는 생산 규모 측면에서는 미미하기 그지 없지만 일본, 미국, 독일, 체코에 이어 세계 다섯번째 전자현미경 생산국이란 사실은 나름대로 의미가 크다고 볼 수 있다. 교육과학기술부는 지난 10월 21일 전자현미경을 세계적으로 성장성이 높은 25개 첨단분석장비 중 의 하나로 선정하고, 2010년부터 집중 육성할 계획이라고 발표하였다.

참고 자료

없음