SIMS 원리

*철

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A typical column consists of a mass filter, apertures, lenses and deflection plates.

Their function is to filter, focus, shape, position the primary beam.

<중 략>

Total secondary ion signal : 3.681×106(ions)
Average secondary ion signal : 2.692×e4/s
Average implant concentration : 1×e15cm-2/0.74um=1.35×e19atom/cc
Silicon ion counts : 2.2×e8/s

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없음

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