SEM을 통한 샘플 분석(예비)

목차

1. 실험목적
2. 실험이론
3. 실험방법
4. 참고문헌

본문내용

1. 실험목적
관찰대상물의 미세한 부분을 확대하여 관찰하고 분석하는데 사용되는 주사전자현미경의 원리에 대해 알고, X선 분광분석기(EDX)를 장착하여 미세한 부분에서의 분석을 할 수 있다.

2. 실험이론
SEM(Scanning Electron Microscope)
① SEM(Scanning Electron Microscope) 와 광학현미경 비교
전자현미경(SEM)은 광학현미경과 매우 흡사한 구조를 가지지만 다른 특징을 가진다.
광학현미경은 관찰의 매체로 가시광선(빛)을 사용하는 반면에 전자현미경은 전자파를 사용한다. 전자파를 사용함으로써 가시광선을 사용하는 경우보다 분해능을 대단히 높일 수 있고 고배율로 관찰 할 수 있다.
② 주사전자현미경 & 전자의 이동 경로
- 주사전자현미경(SEM)
주사전자현미경(SEM)은 다른 일반적인 광학현미경과 구조적으로는 비슷하지만 실제로는 큰 차이가 있다. 광학현미경은 광원으로 가시광선을 사용하지만 전자현미경의 하나인 주사전자현미경은 전자선을 시료표면에 쪼여준다.

참고 자료

주사전자현미경 분석과 X선 미세분석 (윤존도 외 3명, 淸文閣)
경기대학교 신소재공학과 전자현미경 수업자료
X-선 미소분석의 원리 및 응용(EDS/WDS) (성균관대학교 신소재공학과 양철웅 교수)
http://sec.com
http://theyet.blog.me/30172585611
http://no1sec.tistory.com/55
http://www.zeus.go.kr/cafe/engineer/post/2720/down/1148
http://m.blog.naver.com/nanomate/110082618135
주사전자현미경 분석과 X선 미세분석 (윤존도 외 3명, 淸文閣)
다음 백과사전
http://smtfocus.co.kr/article/articleView.asp?idx=466