SPM 현미경의 종류/원리/특징(STM,AFM

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우수한 분해능을 갖는 'SPM' 현미경의 종류(STM,AFM)와 구동원리 및 특징에 대한 보고서

본문내용

SPM(Scanning Probe Microscope)은 미세한 탐침(Probe)을 시료표면에 주사(Scanning) 하여 시료표면의 미세한 구조를 관찰할수 있는 장비로서 1982년에 발명됐던(G.Binning, H.Roher) STM(Scanning Tunneling Microscope)의 원리로부터 탄생되었다. 현재 원자, 분자 수준의 분해능을 갖는 표면 계측 장비로서 나노 특성 분석에 널리 활용되고 있고, 다양한 환경에서 미소삼차원형상이나 여러가지 물리량 분포를 관찰할 수 있는 특징이 있어 다양한 시료에 폭넓게 이용되는 장비이다.

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