Photoresist processing

*서*

개인인증 판매자스토어

최초 등록일: 2021.01.18
최종 저작일: 2016.09; 4페이지/ 한컴오피스; 가격 3,000원

다운로드

장바구니

상세정보
자료후기 (0)
자료문의 (0)
판매자정보

본문내용

1. 실험 제목: Photoresist processing
2. 실험 일자: 2016. 12. 09(금)
3. 실험 목적: photoresist processing을 해봄으로써 리소그래피의 원리를 이해하고 이에 사용되는 고분자의 특성이나 작용원리 등을 이해한다.

4. 실험 원리:
Photolithography
반도체의 표면에 사진 인쇄 기술을 써서 집적회로, 부품 박막회로, 프린트 배선 패턴 등을 만들어내는 기법이다. 실리콘 기판의 깨끗한 표면에 포토레지스트 액을 스핀코팅, 스프레이 또는 담금으로서 고르게 도포한다. 건조 후 마스크를 통해서 빛을 선택적으로 조사한다. 레지스트 비중 합 부분은 적당한 용제로 제거한다. 중합화 부분이 식각 프로세스에 있어서의 장벽으로서, 또는 디파짓 프로세스에 있어서의 마스크로 작용한다. 마스크에 대한 양화를 만드는 경우와 음화를 만드는 경우에 사용하는 레지스트도 각각 positive, negative 레지스트를 쓴다.

참고 자료

http://blog.naver.com/PostView.nhn?blogId=titler5&logNo=20106478313&parentCategoryNo=1&categoryNo=&viewDate=&isShowPopul
arPosts=true&from=search(검색일: 2016.12.08.)
https://en.wikipedia.org/wiki/Photoresist(검색일: 2016.12.08.)
http://slideplayer.com/slide/8683349/(검색일: 2016.12.08.)
김성훈, 김상태, 포토레지스트의 기술 동향과 화학 증폭형 포토레지스트에서의 광산 발생제의 연구, J of the chosun nature science vol.2 NO4, 2009, p250~263

이 자료와 함께 구매한 자료

Looking at the synthesised polymer beads by SEM,TEM mic.. 4페이지
PS Synthesis by Anionic Polymerisation 4페이지
Nylon 6-10 Synthesis by Interfacial Polymerisation 5페이지
Polymer characterisation by IR spectroscopy 4페이지
PMMA suspension polymerization 5페이지

주의사항

환불정책

해피캠퍼스는 구매자와 판매자 모두가 만족하는 서비스가 되도록 노력하고 있으며, 아래의 4가지 자료환불 조건을 꼭 확인해주시기 바랍니다.

파일오류	중복자료	저작권 없음	설명과 실제 내용 불일치
파일의 다운로드가 제대로 되지 않거나 파일형식에 맞는 프로그램으로 정상 작동하지 않는 경우	다른 자료와 70% 이상 내용이 일치하는 경우 (중복임을 확인할 수 있는 근거 필요함)	인터넷의 다른 사이트, 연구기관, 학교, 서적 등의 자료를 도용한 경우	자료의 설명과 실제 자료의 내용이 일치하지 않는 경우

이런 노하우도 있어요!더보기

찾던 자료가 아닌가요?아래 자료들 중 찾던 자료가 있는지 확인해보세요

[물리전자2] 과제2 단원 요약 Fabrication of pn junctions 5페이지

There are two types of photoresist: positive ... to further transfer the pattern from the photoresist ... mask to a light-sensitive material called photoresist
(특집) 포토공정 심화 정리1편. 공정 Process 개략도& Wafer Priming 3페이지

공정 Process 개략도& Wafer Priming > 오늘 첫 시간은 ... * 일반적인 Photolithography Process 전 Cleaning ... * Wafer 준비(Photoresist를 도포할 준비) - Photoresist
분석화학 기기분석 Microfluidic Channel 실험 보고서 (학부 수석의 레포트 시리즈) 11페이지

Overall process of master making and molding ... using photoresist SU-8 ... 그 중 photoresist는 light-sensitive material로
[실험레포트]원광대학교 미세유체칩(Micro-Fluid Chips) 실험보고서 6페이지

research micro-fluid chips using photoresist ... Key words : photoresist(감광액), Ultraviolet ... And use a blocking lamp to prevent Photoresist
고분자 photolithography 결과보고서 4페이지

실험제목: Photolithography process 2. ... -결과 보고서 – Photolithography Process 1. ... 다음 Photoresist층을 만드는 과정에서 용해되어 지는것을 방지하고
(특집) 포토공정 심화 정리11편. PR(Photoresist)에대한 이해 8페이지

Adhesion) / 3) 광 민감성(Expose rate) /4) 공정 자유도(Process ... < Photoresist, PR > ? ... PR(Photoresist)에대한 이해 > 이번시간은 '포토공정에 사용되는
반도체 소자 및 설계 15페이지

Implantation Lithography • A patterning process ... of the silicon wafer Photolithographic Process ... pattern from the mask or reticle to the photoresist
반도체 공정 정리본 61페이지

의한 데미지를 화학 용액으로 녹여 제거 RTP (Rapid Thermal Process ... 이후 식각될 영역이 Photoresist에 의해 보호되지 않은 상태로 남아 ... Photoresist는 에칭을 저항하고 Resist로 덮인 재료를 보호한다
인하대 VLSI 설계 2주차 CMOS Process flow diagram 등 이론 수업 과제 10페이지

1.Redraw CMOS Process flow diagram 2. ... 웨이퍼 표면에 바르고 photoresist를 통해 웨이퍼를 빛에 노출시켜 ... 웨이퍼에 회로 패턴을 남긴 뒤 불필요한 Photoresist를 제거한다.
ITO Patterning 예비 9페이지

ITO etchant etching 공정 중 wet process로 기판을 ... positive-photoresist과 negative-photoresist ... 이 과정이 끝나면 photoresist(PR)를 roll coater 또는
Microfabricated Silicon Solid Immersion Lens 발표자료 18페이지

take advantage of MEMS precision Lucent process ... Lens is shaped from photoresist reflowed ... pillar Photoresist pillar reflowed in acetone
Microscale Patterning with Photolithography and Etching Processes_결과레포트 6페이지

Photoresist는 AZ1512를 사용하였다. ... 결과 사진 실험에서 Photoresist로 사용한 AZ1512는 positive ... and wet etching process Fabrication step
[A+레포트] 마이크로리소그래피 실험 Microlithography 10페이지

: Novolac-NQDS based photoresist (shipley ... and Reagents 1) 실리콘 기판 (2 cm × 2 cm) 2) Photoresist ... . ; 직렬 노광 방법 (serial exposure process) -
소재공정실험 3-2 핵심 주제 요약본 3페이지

포토레지스트(Photoresist) 조사 6. ... 소재공정실험 소재공정실험을 아주 중요한 실험인데 공정은 process라고
반도체 팀프로젝트 1페이지

dye) only to green and red pixels, and a photoresist ... It is a patterning process to apply BLAD ... process that is not affected by temperature
졸업논문(포스터) Fabrication of GaN on Si hierarchical nanowire 1페이지

Photoresist Si substrate Au GaN 1. ... Aim of work Growth Scheme MACE process MACE