"photoresist" 검색결과 1-20 / 456건

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  Photoresist processing

  실험 제목: Photoresist processing 2. 실험 일자: 2016. 12. 09(금) 3. ... photoresist의 방법 ---(4) · Photo 방법 빛을 이용한 방법으로서 UV를 주로 사용한다. ... photoresist 물질의 조건 ---(3) 반도체 공정에서 쓰이는 포토레지스트 물질은 여러 가지 조건을 만족하여야한다.

  리포트 | 4페이지 | 3,000원 | 등록일 2021.01.18 | 수정일 2023.01.12

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  Preparation of photoresist-derived carbon micropatterns by proton ion beam lithography and pyrolysis

  한국탄소학회 Hui-Gyun Nam, Jin-Mook Jung, In-Tae Hwang, Junhwa Shin, Chang-Hee Jung, Jae-Hak Choi

  논문 | 7페이지 | 4,000원 | 등록일 2023.04.05 | 수정일 2023.04.06

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  Heat Treatment of Carbonized Photoresist Mask with Ammonia for Epitaxial Lateral Overgrowth of a-plane GaN on R-plane Sapphire

  한국재료학회 Dae-sik Kim, Jun-hyuck Kwon, Junggeun Jhin, Dongjin Byun

  논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2023.04.05 | 수정일 2023.04.06

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  (특집) 포토공정 심화 정리11편. PR(Photoresist)에대한 이해

  < Photoresist, PR > ? ... Photoresist, PR은 반도체 원료인 웨이퍼 위에 도포하는 ‘감광액’이다. ... PR(Photoresist)에대한 이해 > 이번시간은 '포토공정에 사용되는 소재 PR, 포토레지스트에 대해서 알아보겠습니다. ?

  리포트 | 8페이지 | 2,000원 | 등록일 2021.08.16

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  Deep UV Photoresists;Dissolution Inhibitor (Deep UV Photoresists;Dissolution Inhibitor)

  한국유화학회 Sang-Yeon Shim, James V. Crivello

  논문 | 4페이지 | 3,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  Trihydric Phenol계 Photoresist의 합성과 그 감광 특성

  한국유화학회 홍의석, 고재용, 박홍수

  논문 | 8페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  Negative Photoresist

  Photoresist ..PAGE:7 실험 원리 2. Photoresist ..PAGE:8 실험 원리 3. Positive photoresist ..PAGE:9 실험 원리 3. ... Negative photoresist ..PAGE:12 실험 원리 5. ... ..PAGE:1 Negative Photoresist ..PAGE:2 목차 1. 실험 원리 2. 실험 방법 3. 시약 4. 참고 문헌 ..PAGE:3 실험 방법 1.

  리포트 | 17페이지 | 1,000원 | 등록일 2013.12.08 | 수정일 2015.08.21

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  인쇄 제판용 Photoresist의 합성과 G.S법에 의한 감광특성 비교;인쇄 제판용 Photoresist의 연구[II]

  한국유화학회 이기창

  논문 | 8페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  인쇄 제판용 Photoresist의 잔막수율법에 의한 용해도 비교

  한국유화학회 윤철훈, 황성규, 오세영, 최성용, 이기창

  논문 | 9페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

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  photoresist, bake

  What ’s Photoresist And N/P Photoresist ? ... Photolithography What ’s Photoresist ? Photoresist ? ... What is Positive Photoresist different from Negative Photoresist ? What ’s Baking?

  리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2010.05.28

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  포토리소그래피(photoresist)

  Ashing high temperature oxidation을 이용하여 substrate으로 부터 photoresist를 제거하는 것. ... [ 개 요 ] 포토레지스트(Photoresist)는 설계된 회로를 웨이퍼에 전사시킬 때 빛의 조사 여부에 따라 달리 감응함으로써 미세 회로 패턴을 형성할 수 있도록 하는 노광 공정용 ... 최적의 Develop(현상) Time 구현 실험 [ 목 적 ] Photoresist의 기본적이 특성을 알고, Mask layout에 따른 패턴형성과 선폭, 두께, resolution

  리포트 | 13페이지 | 5,000원 | 등록일 2008.11.30

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  Photoresist 및 Photolithography

  Photoresist 가. photoresist의 분류 - Positive Photoresist 1) 용해 억제형 Photoresist : 2㎛의 최소 선폭이 요구되는 256K DRAM으로부터 ... 형성된 Photoresist 패턴은 에칭이나 이온 주입 등의 공정에서 마스킹제로 사용되는데, 이때의 가혹한 조건을 견디게 하기 위해 Photoresist패턴을 강화시켜 주어야 한다. ... Photoresist의 해상력은 실제 패턴을 형성시켜 알아낼 수 있는데, 보통 CD linearity 곡선으로 구한다.

  리포트 | 12페이지 | 2,000원 | 등록일 2008.10.28

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  PhotoResist coating

  ..PAGE:1 7.감광액 도포 (Photoresist coat) ..PAGE:2 목 차 1) PR 도포의 목적 2) 도포 공정 3) Photo resist란 4) Photo resist의 ... 구성과 종류 ..PAGE:3 Photoresist coat 목적 패턴(pattern)형성 고집적화 ..PAGE:4 도포 공정 개략도 ..PAGE:5 웨이퍼 세정 (wafer cleaning ... PAGE:8 스핀 코터(Spin Coater) ..PAGE:9 소프트 베이크 (soft bake) 감광막 건조 도포막의 형태와 두께 균일성유지 접착도 향상 ..PAGE:10 PR(Photoresist

  리포트 | 18페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.11.14 | 수정일 2019.04.09

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  [반도체] Photoresist (PR)

  자외선 광원에 반응하는 Resist를 Photoresist라 부른다. ... Photoresist는 고분자와 감광제(photosensitizer, 또는 광개시제(photoinitiator)라고 함), 그리고 용매로 구성되어 있다. ... [Photoresist] 거의 모든 정밀 전자, 정보기기들은 고분자 Resist를 이용한 미세가공 기법으로 만들어진 집적회로(integrated circuit, IC) 소자들에 의해

  리포트 | 2페이지 | 무료 | 등록일 2005.04.01

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  [고분자] PMMA (photoresist)

  [PMMA (Polymethyl Methacrylate)] 그림. PMMA resist를 이용한 T-gate fabrication과 metal lift-off process 1. PMMA의 성질 PMMA(Polymethyl methacrylate)는 다양한 microe..

  리포트 | 1페이지 | 무료 | 등록일 2005.04.01

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  공학 현장 실습 코오롱 Dry Film PhotoResist(DFR)

  베이스 필름상에 도포한 Photoresist층을 건조 후, 보호 필름을 photoresist층에 laminate를 하여 제조. * Photoresist Negative PR Positive ... Dry Film PhotoResist(DFR) 목 차 * 1. 코오롱 회사 소개 2. Dry Film photoResist 3. DFR 기술의 원리 4. ... 회사소개 * ㈜코오롱 대한민국 첨단 화학 소재 산업의 리더 Dry Film PhotoResist DFR (Dry Film PhotoResist) 이란?

  리포트 | 19페이지 | 1,500원 | 등록일 2009.02.08

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  [반도체공정] Photoresist 및 OF

  PHOTORESIST 반응 및 최근 개발 동향 3-1. Photoresist의 반응 3-2. 최근 개발 동향 1) RET ( 해상도 향상 기술 . ... PHOTORESIST 2-1. photoresist의 분류 1) 극성에 의한 분류 2) 광반응 메커니즘에 의한 분류 3) 노광원에 의한 분류 2-2. photoacid generator ... Photoresist의 전반적 공정과 활발한 연구가 진행되고 있는 157nm광원에서의 장 단점 등을 알아볼 것이다.

  리포트 | 15페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.05.19

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  [재료공학(고분자공학)] 감광성 고분자를 이용한 PR(Photoresist) 공정,고흡수성 수지를 이용한 흡수력 테스트

  감광성 고분자를 이용한 PR(Photoresist) 공정 1. ... 재료실험 실험보고서 감광성 고분자를 이용한 PR(Photoresist) 공정 고흡수성 수지를 이용한 흡수력 테스트 실험 1. ... 특히 광조사 전후의 변화한 용 해도 차를 이용하는 고해상력의 Photoresist는 인쇄판, 전자부품의 제조와 가공 및, 반도체 소자에 이용되고 있다.

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2003.06.23

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  Photolithography 예비보고서

  Negative photoresist의 차이점 Photoresist의 구성요소 중에 PAC가 있다. ... PAC는 빛에 반응하는 화합물이며, Positive Photoresist와 Negative Photoresist로 구분된다. ... PR 물질은 빛의 반응에 따라 Positive Photoresist와 Negative Photoresist 두 가지 방식으로 분류된다.

  리포트 | 3페이지 | 2,000원 | 등록일 2020.12.16 | 수정일 2021.04.08

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  숭실대 Photo-lithography 결과보고서

  Photoresist(PR)를 이용하고 역할을 이해할 수 있다. 4. ... 시약 및 기기 - Si wafer (2.5 x 2.5 cm), 비커 / 피펫, Acetone, IPA (Isopropanol), Sonicator, Spin coater, Photoresist

  리포트 | 4페이지 | 2,500원 | 등록일 2022.10.05

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