"박막 증착" 검색결과 181-200 / 2,457건

• 

  Reactive magnetron sputtering을 이용한 ZnO박막증착

  cm 이며, 박막형태도 증착되면, 증착 방법에 따른 결정성장 조건에 따라 108~10-4 Ω ?cm 로 낮은 비저항을 가진다. ... SE에 의한 분석 반응성 스퍼터에 의한 온도의 영향을 보기 위해서 전형적인 반응성 스퍼터 및 유도 결합형 플라즈마를 사용한 반응성 스퍼터와 증착된 ZnO 박막들의 물리적인 특성(증착속도 ... 온도변수에 의한 증착특성 4.1절에서 셔터변수에 의한 증착특성을 확인한 결과 셔터와 ICP를 사용했을 때의 박막의 질이 좋은 것을 확인할 수 있었기 때문에 온도변수 실험은 셔터와 ICP를

  리포트 | 57페이지 | 3,500원 | 등록일 2008.12.06

  다운로드 장바구니
• 

  박막증착 장비의 종류 및 원리, GaN LED

  『박막증착법의 종류』 -박막증착은의 방법은 크게 PVD(Physical vapor deposition : 물리적 증착) 와 CVD(Chemical vapor deposition) 의 ... 박막 증착장비의 종류 -박막은 두께가 매우 얇은 (0.1nm-10μm)기판상에 만들어진 고체막을 말하는데, 여러 가지 금속, 반도체 또는 절연물 등을 재료로 삼아 진공증착법, 전기도금법 ... ♧CVD 박막증착 장비의 종류 (ⅰ) APCVD (Atmospheric Pressure CVD) -APCVD는 화학적 기상도금 또는 화학증착이라고 하는 고순도 고품질의 박막을 형성하는

  리포트 | 8페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.11.30

  다운로드 장바구니
• 

  E-Beam Evaporator를 이용한 박막 증착 원리 이해(결과보고서)

  스퍼터 증착한 타겟 물질을 기판 위에 침착시켜서 박막을 형성하는 것을 스퍼터 증착(sputter depostion)이라고 한다. ... 금속의 질화물 혹은 탄화물의 박막 형성에 널리 사용되는 반응성 스퍼터(reactive sputtering), 스퍼터 가스가 증착막에 혼입하는 것을 막아 순도가 높은 박막을 형성하기 ... Report E-Beam Evaporator를 이용한 박막 증착 원리 이해 Beam evaporator의 각 부분의 명칭과 기능 E-beam evaporator 장비는 크게 6개의

  리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2011.05.20

  다운로드 장바구니
• 

  Crystalline Qualities and Surface Morphologies of As-Grown YBa2Cu3O7-x Thin Films on MgO(100) Substrate by Reactive Coevaporation Method (반응성 동시 증착법에 의한 As-grown YBa2Cu3O7-x 박막의 결정 특성 및 표면형상에 관한 연구)

  한국재료학회 Jang, Ho-Yeon, Watanabe, Yasuhiro, Doshida, Yutaka, Shimizu, Kenji, Okamoto, Yoichi, Akibama, Ryozo, Song, Jin-Tae

  논문 | 6페이지 | 4,000원 | 등록일 2016.04.02 | 수정일 2023.04.05

  다운로드 장바구니
• 

  박막 증착과 4-point probe 의 이해

  박막은 물리기상증착(Physical Vapor Deposition)과 화학기상증착(Chamical Vapor Deposition)등의 다양한 방법으로 성장되며, 일단 형성된 박막은 ... CVD로 얻어지는 박막의 물리적 성질은 증착이 일어나는 기판(비정질, 다결정, 결정). ... 표면 및 단면 분석 증착막은 증착방법과 증착조건 증착속도, 기판 온도,기판 압력 등에 의하여 grain size, 표면 형상등이 바뀌게 되고 그에 따라서 박막의 물리적인 성질들이 크게

  리포트 | 7페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.07.09

  다운로드 장바구니
• 

  [공학]Chemical Method에 의한 박막증착 중 Electroplating(전기도금) 을 이용한 박막증착

  실험 목적 :　화학적 방법에 의한 박막증착 중, 전기도금에 의한 방법으로 증착실험을 해보고, 그 과정과 원리를 이해한다. ... 실험 제목 : Chemical Method에 의한 박막증착 중 Electroplating Ⅱ. ... 결론 및 고찰 -이번 실험은 화학적 방법에 의한 박막증착 중, 전기도금에 의한 방법으로 증착실험을 해보고, 그 과정과 원리를 이해하는데 그 목적이 있었다.

  리포트 | 19페이지 | 2,000원 | 등록일 2006.11.14

  다운로드 장바구니
• 

  박막증착 장비의 종류 및 원리와 GaN LED의 이해

  PVD는 다른 박막증착법들에 비해 피복율이 낮은 편이나. ... 박막은 반도체, LCD Monitor, 나노겔 입자, 섬유, 유기반도체, 광학 렌즈 등 활용도가 증가하고 있다. - 박막증착의 방법 A. ... ◎리포트 내용 및 목표 - 박막과 박막증착 장비의 종류, 원리에 대해 이한해다. - 반도체와 홀효과(Hall Effect)의 관계를 이해한다. - GaN LED가 무엇이며 용도가 어떠한지

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.11.30

  다운로드 장바구니
• 

  [공학기술]박막 공정,PVD,증착,진공증착,스퍼터링 보고서

  박막 공정 THIN-FILM PROCESS 목 차 1.박막공정6p 1.1. 박막공정의 정의7p 1.2. 박막공정의 과정7p 2. 세척7p 3. 증착8p 3.1. ... 박막 증착의 예53p 7.1. 실리콘 박막 트랜지스터(TFT)53p 8. PVD와 CVD의 차이 비교55p 9. 증착법의 실제 적용 분야56p 9.1. ... 형태로 형성되어 Substrate에 증착되는 과정 증발증착법은 진공중에서 박막을 만들려는 물질을 가열하여 증발시켜 그 증기를 적당한 면 위에 부착시키는 방법으로서 증발의 과정이 열교환

  리포트 | 70페이지 | 3,000원 | 등록일 2007.08.16

  다운로드 장바구니
• 

  박막 증착 기술 (Thin Film Deposition Technology)

  CVD의 성능 비교 높음 낮음 후속 공정 적합성 낮음 높음 불순물 함유 낮음 높음 증착 온도 얇은 두께 조절 용이 얇은 두께 조절 어려움 두께조절 용이성 95% 85% Step Coverage

  리포트 | 15페이지 | 1,000원 | 등록일 2007.03.21

  다운로드 장바구니
• 

  ITO,ITO glass,,박막 증착 기술,전착(electro deposition)

  박막 증착 기술 반도체 소자나 집적회로의 제작에는 많은 종류의 박막( Thin film )이 증착된다. ... 우수한 마그네트론 스퍼터를 적용으로 균일한 두께의 ITO 박막을 증착하여 면저항 및 식각성이 균일하다. ... 이 박막을 증착시키기 위한 대표적인 방법으로는 물리적으로 증착시키는 Evaporation, Sputtering, SOG( Spin on Glass) 등과 화학적인 반응을 이용한 CVD

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2008.10.20

  다운로드 장바구니
• 

  [반도체][ppt 자료] 박막 증착 방법

  박막 증착(Thin Film Deposition) 박막 증착의 정의 증착하고자 하는 물질을 수 나노에서 수백 나노 두께로 특정 기판상에 올리는 일련의 과정을 말함. ... AR 1 이면, poor Aspect Ratio=AR=h/w Step Coverage가 낮은 박막 실제 예 박막 증착 물리 기상 증착법 정의 냉각기 기판(cooler substrate ... Step Coverage 박막 증착 Voids in CVD Filling Metal 박막 증착 Step Coverage 평가 기준 AR 0.5 이면, OK 0.5 AR 1 이면, marginal

  리포트 | 23페이지 | 1,500원 | 등록일 2005.10.24

  다운로드 장바구니
• 

  [박막] 진공 증착법에 의한 박막 제작

  Vaccum Deposition method에 의한 박막 제작 1.실험목적 진공 증착법으로 박막을 직접 제작함으로써, 박막 프로세스에 대한 기초를 습득한다. 2.실험 기구 (1)시료 ... PVD 법에는 진공 증착법, 스퍼터링법 등이 있다. ③진공 증착법 진공 증착법이란 진공 중에는 금속이나 화합물을 증발시켜, 증발원과 마주보고 있는 상 대 표면에 박막을 만드는 것 이다 ... 의한 박막 제작 3.1 MgF

  리포트 | 15페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.05.15

  다운로드 장바구니
• 

  플라즈마반응기를 이용한 TiO2박막증착법

  과 증착 공정??에 응용되고 있다. ... 온도의 저하 및 증착 속도를 증가시킬 수 있는 장점이 있다. ... CVD법에 의한 TiO2 박막의 제조시 이용되는 전구물질들은 금속의 할라이드11,12)와 유기 금속계 출발 원료들이 사용되고 있다13,14).

  리포트 | 27페이지 | 3,500원 | 등록일 2008.03.27

  다운로드 장바구니
• 

  No.62 Chemical Method에 의한 박막 증착 중 Electroplating

  실험 제목 Chemical Method에 의한 박막 증착 중 Electroplating 2. ... 이렇게 하여 생성된 금속 막의 두께 값에서 초기 금속 막의 박막두께를 빼면 증착된 박막의 두께를 알 수 있다. 박막두께 = 나중 금속 막 두께 - 초기 금속 막 두께 5. ... 실험 목적 아래의 실험 기본 조건에서 조별로 변수를 지정하여 변수에 대한 비교실험을 통해 구리의 전기도금에서 지정된 변수의 영향을 파악하고 이 변수의 영향으로 인한 박막 증착 정도를

  리포트 | 11페이지 | 1,500원 | 등록일 2007.12.24

  다운로드 장바구니
• 

  spin coating를 이용한 ZnO박막 증착

  온도변화에 따른 박막표면의 변화 (a) 200℃, (b) 300℃ (c) 400℃ (d) 500℃ (e) 600℃ 이것은 온도가 증가 함에 따라 증착률도 증가하여 거칠기가 ... 얇은 박막으로 코팅되어진 평면인 물체로 구성된 장치에 많이 사용된다. ... 결 론 문헌상의 결정표면과 약간 다른 구조를 보였지만 spin coating를 통하여 유리기판위에 ZnO 박막을 입혀보았고 이것을 sem을 통하여 ZnO 박막이 다결정질 구조임을 확인

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.25

  다운로드 장바구니
• 

  [박막 증착] PVD의 원리와 종류

  박막 증착에서 sputtering이라 하면 target 원자의 방출과 그 원자의 substrate에의 부착이라는 2가지 과정을 포함하는 개념으로 볼 수 있다. ... -장점 막 두께의 균일성 내화 재료의 증착 절연막의 증착 큰 면적의 target이용 가능 thermal evaporation 같이 spitting이 없다. arc deposition ... PVD (Physical Vapor Deposition, 물리증착법) - 아크, 열, 전자빔 등의 에너지에 의해 진공분위기에서 금속물질을 증발시키고, 플라즈마, 이온빔 등의 에너지로

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.01.18

  다운로드 장바구니
• 

  증착법, 스퍼터링, 박막 공정 (THIN FILM PROCESS)의 기초

  Thin Film Processing 목 차 박막 증착 물리 기상 증착법(PVD) 화학 기상 증착법(CVD) 개 요 개 요 박막 공정의 정의 박막 증착과 포토리소그래피 기술을 이용하여 ... 증착된 부분에 빈 공간(void)이 없어야 함. 평평하게 된 박막이 필요. ... 박막 증착의 정의 증착하고자 하는 물질을 수 나노에서 수백 나노 두께로 특정 기판상에 올리는 일련의 과정을 말함.

  리포트 | 41페이지 | 5,000원 | 등록일 2007.10.17 | 수정일 2014.08.27

  다운로드 장바구니
• 

  [재료 금속 박막 증착] PVD CVD(박막)

  ◎ 박막과 박막 증착 최근에는 덩어리재료(Bulk materials)에는 없거나, 혹은 나타나기 어려운 물성을 얻기 위하여 덩어리 재료인 기판(Substrate)위에 박막(Thin ... 박막 증착에서 sputtering이라 하면 target 원자의 방출과 그 원자의 substrate에의 부착이라는 2가지 과정을 포함하는 개념으로 볼 수 있다. ... 전자충격법은 증착 재료에 전자선을 조사해서 가열, 증발시킨다.

  리포트 | 19페이지 | 1,500원 | 등록일 2003.09.12

  다운로드 장바구니
• 

  [물리]스퍼터링에 의한 박막 증착, 결과보고서

  실험제목: 때려내기에 의한 박막 증착 실험목적: 박막 성장 방법 중의 하나인 '때려내기(sputtering)에 의한 박막 증착' 방법의 원리를 이해하고, sputtering 장비를 ... 이용하여 실리콘 기판에 Cu 박막을 증착한다 1. ... 즉 절연체의 박막의 증착을 위하여 RF 스퍼터링이 개발되었다.

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.09.03

  다운로드 장바구니
• 

  [물리]스퍼터링에 의한 박막 증착, 예비보고서

  실험제목: 때려내기에 의한 박막 증착 실험목적: 박막 성장 방법 중의 하나인 '때려내기(sputtering)에 의한 박막 증착' 방법의 원리를 이해하고, sputtering 장비를 ... 이용하여 실리콘 기판에 Cu 박막을 증착한다 이론 1. ... 기판에 도착하는 원자의 에너지가 10~100eV로 매우 크므로 조밀한 미세구조의 박막을 증착할 수 있다.

  리포트 | 23페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.09.03

  다운로드 장바구니