"박막재료공학" 검색결과 1-20 / 1,117건

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  재료공학실험(세라믹) 박막 증착된 웨이퍼들의 XRD 분석

  실험 목적 회절 X선을 이용하여 시료에 함유된 결정성 물질의 종류와 양에 관계되는 정보를 알 수 있다. 실험 원리 회절 X선이 나타내는 입사각 θ가 정해지면 격자면 간격 d가 구해지게 된다. 보통, X선 회절법에 관해서는 입사 X선과 격자면이 이루는 각도 θ보다도 측정..

  리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2022.09.08

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  광운대학교 박막재료공학 이()() 교수님 A+ 시험 공부 자료

  on dielectrics:APCVD:LPCVD:PECVD:HDPCVD:ALCVD:Spatial ALD:MOCVD:PLD:I-PVD:Uniformity:Step coverage등등 ... 정의와 기준> - 특성 차이 종류 -전체 도금 말하는거임

  시험자료 | 26페이지 | 1,500원 | 등록일 2023.12.21 | 수정일 2023.12.22

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  재료공학실험-재료의 산화 및 박막성장

  재료공학실험1 재료의 산화 및 박막 성장 - 예비REPORT 실험목표 - 실리콘 집적 회로 제작에서 가장 기본적이며 자주 사용되는 열 산화막을 형성하는 방법을 알아본다. - 열 산화막의 ... 단층 박막이 있는 경우 p-파와 s-파에 대한 반사계수는 다음의 식(Drude 공식)을 통해 알 수 있다. 여기서 는 p(s)-파에 있어서 측정환경과 박막의 ... 박막이 있는 경우 물론 (Δ, Ψ) 값에 제한이 없다.

  리포트 | 9페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.03.08

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  [공학]박막 재료의 물성 측정

  이 때 온도의 조절이 매우 중요하며 재료에 따라서는 어닐링에 의해 잔류응력이 감소하여 계면접합특성이 향상되기도 한다. (1) Pull-off test 핀을 접착제로 박막에 고정시킨 ... 철필에 하중을 주어 박막 표면을 긁어 박막이 모재로부터 분리된 순간의 응력 측정한다. ... 이에 따라 압입하중-변위곡선을 얻음으로써 재료의 탄성 및 소성변형에 대한 정보를 동시에 제공해 주게 된다.

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.11.19 | 수정일 2016.03.21

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  [재료공학]박막의 증착 공정

  박막의 광범위한 응용범위는 진공 및 관련기술의 발달에 힘입어 반도체소자, 광학재료, 자성재료, 센서, 초경재료, 내부식성 및 내산화성 재료에 이르기까지 매우 다양하다 진공이란 진공은 ... 박막증착공정 모재 표면에 수 마이크로미터 정도의 두께를 갖는 이종물질을 증착함으로써 표면성질을 개선하거나 특수한 기능을 갖는 구조를 제조하려는 연구가 활발히 진행되고 있다. ... 이런 진공기술의 요소는 발생기술, 재료기술, 가공 및 부품기술, 평가 및 제어기술로 대별되며 이 네 가지 요소가 합쳐져서 진공 응용기술이 성립된다.

  리포트 | 14페이지 | 1,500원 | 등록일 2006.04.09

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  [재료공학] 박막 기초

  ＊박막형성에서 증착 소스로부터 탈출한 입자가 잔류가스에 충돌하지 않고 주행 방향을 굽히지 않고 박막을 형성하려고 하는 기판에 당도 할 수 있도록 하기 위한 필요조건으로는 평균 자유행로가 ... (진공이 아닐땐 증착입자의 직진을 방해하여 공간중에서 이슬과 같은 미립자로 변화하고 평편한 박막의 생성이 힘듦 ) d)압력이 낮는 등, 대기압과는 다른 상태가 얻어짐. ... 진공: 공업적으로 ‘대기압 이하의 상태’ ○공업적으로 진공이 이용되는 이유 a)화학적으로 비활성 (공기중의 활성 분자가 박막의 물질과 화합물 형성막음, 원하지 않는 화학 반응 예방)

  리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.05.13

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  [재료공학] 박막 제조법

  3 박막 제조 방법 1) 물리적 증착법 물리적 진공증착법이란 고진공 조건에서 화학반응이 일어나지 않는 상태로 단일 금속의 증기상을 피처리물 표면에 코팅시키는 것을 의미하였으나, 최근에는 ... 이 현상이 1842년 Grove에 의해서 발견된 후 박막 제작에의 이용은 1870년대부터 행해져 왔는데, 공업기술로써 넓게 이용되게 된 것은 1930년 이후RF 스퍼터링 절연체의 타겟을 ... 표적재료를 지지하는 재료는 불순물이 피복층에 유입되는 것을 방지하기 위해서 표적재료와 반응하지 않고 표적재료 가열온도에서 증발율이 무시도리 정도의 재료를 선택해야 하며, 증발할 수

  리포트 | 13페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.03.27

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  고려대학교 재료공학실험1 진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착

  PVD 방식으로 제조할 수 있는 박막재료는 금속, 합금을 비롯하여 화합물, 비금속 산화물 등이 있다. ... Phys. 31: 1326 진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착(결과보고서) PAGE \* MERGEFORMAT 1 고려대학교 신소재공학부 ... 챔버는 펌프를 사용하여 높은 진공 상태를 유지하고 아래쪽에는 증발시킬 재료인 소스를 설치한다. 그리고 위쪽에는 기판을 장착한다.

  리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.07.16

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  [재료공학]박막의 두께 측정방법

  위에 비저항(ohm·cm)값을 이용하는 것인데, 이는 비저항값을 알 수 있는 순도 높은 재료의 박막일 경우에 쉽게 이용할 수 있다. ? ... 자료출처 한국 과학 기술 연구소 재료 설계연구실 초감응 분자 각막 연구실 ... 금속박막두께측정법 금속의 박막두께를 측정하는 데에는 여러가지 방식이 있지만, 여기서는 면저항값을 이용한 금속박막두께 계산법을 소개한다.

  리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.11.18

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  (재료공학실험)진공증착기를 이용한 ohmic contact 형성용 metal박막증착

  Ⅵ. 진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착 (예비 보고서) 2007170033 신소재공학부 이희준 1. ... dirId=2213&docId=7962 A.ROTH, 'VACUUM TECHNOLOGY', NOTH HOLLAND 서울대학교 재료공학부 ‘박막공학’ ... 실험 목적 진공증착 장비를 이용한 박막증착 실험을 통하여 진공 및 진공장비의 원리를 이해하고, 박막의 제조와 분석을 통해서 진공과 박막의 기본개념을 이해한다. 2.

  리포트 | 9페이지 | 1,000원 | 등록일 2011.03.22

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  고려대학교 재료공학실험1 진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착(예비보고서)

  세라믹 재료의 박막은 상당히 다양하게 사용되는데 상대적으로 단단한 경도를 가진 세라믹은 부식이나 산화에 강하여 이런 것들에 보호를 요구하는 물건들의 코팅에 사용된다. ... 원리를 이해하고 박막의 제조와 분석을 통해서 진공과 박막의 기본개념을 이해한다. ... AMSE305 진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착 (예비보고서) 실험 목적 진공증착 장비를 이용한 박막증착 실험을 통해서 진공 및 진공장비의

  리포트 | 6페이지 | 1,500원 | 등록일 2013.07.16

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  [공학]박막재료의 표면 처리 및 PR제거

  실험제목 박막재료의 표면 처리 및 PR제거 2. ... 실험목적 여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 (1) 증착공정, (2) 마스크의 패턴형성 그리고 (3) 식각 공정으로 구분된다. ... 이러한 공정들 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이다.

  리포트 | 12페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.09.06

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  [공학]반도체 박막 재료의 표면 처리 및 PR 제거

  ■ 실험 제목 - 박막 재료의 표면 처리 및 PR 제거 ■ 실험 목적 - 여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세 가지 공정으로 나눠 지는데 첫째로 ... 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이다. ... 본 실험에서는 마스크에 의하여 형성된 패턴을 증착된 박막위로 전달하는 식각공정에 대하여 이해하고 그에 따른 박막의 표면과 두께의 변화 등에 대하여 고찰하고자 한다. ■ 실험 내용 -

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.12.15

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  [재료공학] 박막측정,기구

  결정성의 좋고 나쁨 조사 - 비결정성 재료는 무정형의 회절패턴을 나타낸다. 결정의 배향성 조사 - 결정내부의 변형을 측정할 수 있다. ... ● 박막의 두께 측정 방법 ★ ESCA를 이용한 박막의 두께 측정 박막이 ESCA로 관찰할 수 있는 깊이 이내의 두께를 가질 때에는 ESCA에 의한 박막의 두께 측정이 가능해진다. ... 기질 원소의 원자량 W_s , 박막 원소의 원자량 W_f , 박막의 밀도 ρ_f , 기질의 밀도 ρ_s , 박막에서의 전자의 평균 자유 행로 l_f , 기질에서의 전자의 평균 자유

  리포트 | 28페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.11.27

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  [반도체공학]박막 재료의 표면처리 및 식각 실험

  실 험 제 목 : 박막 재료의 표면처리 및 식각 실험 2. ... 실 험 목 적 여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세가지 공정으로 나뉘어 지는데 첫째로 증착공정 둘째로 마스크의 패턴형성 그리고 셋째로 식각공정으로 ... 이러한 공정 가운데서 중요한 공정은 박막의 식각공정으로서 마스크 패턴을 가지고 증착된 박막을 식각하는 것이다.

  리포트 | 18페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.02.27

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  [재료공학] 초음파 분무 분해법의 종류와 박막증착

  { Spray pyrolysis 법의 종류 및 그에 의한 박막 증착 - Spray pyrolysis Technique and thin film deposition - I.

  리포트 | 23페이지 | 1,000원 | 등록일 2005.05.12

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  [재료공학실험]전착 공정을 이용한 박막의 제조 및 특성 분석

  전착 (electrodeposition) 1) 전착의 원리와 다른 증착방법들과 비교하였을 때의 장단점은 무엇인가? 전착의 원리 전착도장은 전착도료 용액 중에 양극 또는 음극으로 침적한 피도물과 그 대극 사이에 직류 전류를 통하면 다음과 같은 현상이 동시에 일어나면서 피..

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.05.24

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  [재료공학] 플라즈마,PVD,박막형성기구

  박막 형성 기구 진공증착장치(Evaporator)용하고 2차 펌프는 고진공 펌프인 확산펌프를 사용합니다. ... 반응이나 공정방법을 구현할 수 있다. ♣ 플라즈마의 응용분야 (1) 신소재 합성 ☞ 종래의 초고압, 고온에서 얻어지던 인조 다이아몬드가 플라즈마를 이용한 기상 증착법에 의해, 특히 박막 ... 소수성, 친수성, 염색성, 접착성 등을 개선하여 이들에 의해 만들어지는 섬유나 재료의 기능을 향상시킬 수 있다. (3) 금속 표면처리 ☞ 금속표면에 TiN/C, CrN/C, AlN

  리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2002.11.27

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  [재료공학]SBT 박막제조와 누설전류 정전기용량 측정 결과 보고서

  재료공학기초실험Ⅲ SBT 박막제조와 누설전류, 정전기용량 측정 결과 보고서 분반 : 조 : 학번 : 이름 : ■ 실험목적 SBT 박막 증착 과정을 통해 유전체의 성질을 알고, 반응 ... 이용한 MFIS 구조의 제조 및 특성에 관한 연구(2002. 2월) 공학석사 논문 - 비 휘발성 기억소자용 SrBi2Ta2O9 박막의 강유전체 특성, 조선대학교 재료공학과 - ... 한편 전자산업에 쓰이는 각기 다른 전기적 특성을 가지는 재료들이 어떻게 활용되는가에 대해 이해하고 재료공학도로써 재료를 설계할 때, 어떠한 전기적 특성들을 고려하고 평가할 것인가에

  리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2006.11.19

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  [재료공학실험] 박막증착실험(진공, pvd, cvd)

  , 식품공학 중진공 102 ~ 10-1 전자공학, 광학 진공야금 고진공 10-1 ~ 10-5 반도체, 레이저 광학 초고진공 10-5 ~ 10-10 반도체, 신소재, 가속기, 우주과학 ... , 증발과 승화작용, 안정된 플라즈마를 유지, 생화학 반응 억제, 우 주환경 제공 등의 특성이 있다. { 진공의 구분 압력(Pa) 응용분야 저진공 105 (대기압) ~ 102 기계공학 ... 또한 요구하는 목적에 따라 박막의 두께, 박막조직, 박막의 결정성장 방향 등을 용이하게 조절할 수가 있다.

  리포트 | 4페이지 | 1,000원 | 등록일 2004.11.15

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