RF 마그네트론 스퍼터를 이용하여 제작한 MGZO 박막의 구조적 및 전기적, 광학적 특성에 미치는 스퍼터링 전력의 영향
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서지정보
ㆍ발행기관 : 한국재료학회
ㆍ수록지정보 : 한국재료학회지 / 23권 / 3호
ㆍ저자명 : 김인영, 신승욱, 김민성, 윤재호, 허기석, 정채환, 문종하, 이정용, 김진혁
ㆍ저자명 : 김인영, 신승욱, 김민성, 윤재호, 허기석, 정채환, 문종하, 이정용, 김진혁