CVD - PECVD

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"CVD - PECVD"에 대한 내용입니다.

본문내용

.CVD 종류
CVD
열에너지(AP,LPCVD)
플라즈마 에너지(HDP,PECVD)
원자층(ALCVD)

CVD란? (화학적 기상 증착법)
(Chemical Vapor Deposition)
- 화학적으로 증착 시키는 방법
(Deposition (증착)이란 웨이퍼 위에 얇은 박막을 덮는 것을 의미)

.CVD 3요소
CVD공정의 핵심요소 - 진공압력, 온도, 화학적 원소
챔버를 제어하는 요소 - 부피 변화를 포함한 진공압력과 온도와의 상관관계

CVD는 막의 두께 ↓ 막의 밀도↑
여기서 중요한 것은 진공을 얼마나 낮은 압력으로 만들 수 있느냐?
막의 위치와 공정 진행 방식에 따라 어떤 에너지를 얼마큼 투입해 가스를 활성화할 것이냐?

.압력을 기준으로 본 CVD
CVD초기 - 대기압(APCVD) 상태
진공도가 높아지면 가스 분자끼리의 충돌이 적어지고, 그에 따라 기체 확산이 활발해져 APCVD에 비해 더욱 정밀하고 균일한 필름(얇은 막)을 만들 수 있음

참고 자료

없음

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