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"진공증착 결론" 검색결과 1-20 / 194건

  • 한글파일 화학합성개론 A+받은 의견서 -CVD공정
    CVD 공정의 특징 및 장점 CVD 공정 단점 CVD 최신동향 결론 하지만 이러한 CVD 공정에도 다음과 같은 단점이 존재합니다. ... 진공 또한 반대로 진공도가 떨어져 평균자유행로가 낮으면 단차의 고커위치에 너무 많이 증착되어 막의 두께가 필요 이상으로 증가해 균일성이 떨어지는 현상이 나타납니다. ... 앞으로 돌아가 고품질의 막을 형성시키기 위해 고진공을 만들어야한다고 하였는데 진공을 어떻게 만드는지 공부하고자 하였습니다.
    시험자료 | 7페이지 | 3,000원 | 등록일 2024.05.31
  • 한글파일 [물리학과][진공 및 박막실험]진공의 형성과 RF Sputter를 이용한 ITO 박막 증착 결과 보고서
    결론 Sputter를 이용하여 ITO박막을 증착을 할 수 있다. Sputter 장비의 증착 순서를 익히고, 각각의 부품 역할을 이해할 수 있었다. ... 진공의 형성과 RF Sputter를 이용한 ITO 박막 증착 1. ... 토의 진공이란 원래 라틴어로 ‘vacua’, 즉 기체(물질)가 없는 공간의 상태를 의미하여 이런 이상적인 진공 상태일 때 기압(압력)은 0이 된다.
    리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.09.23
  • 한글파일 스퍼터링, RIE 실습 레포트
    결론 및 고찰 Ⅰ. ... 이용한 화학적 반응을 이용한다. ⅰ) 스퍼터링 (Sputtering) 증착법 스퍼터링 증착법은 진공 증착법의 일종으로 비교적 낮은 진공도에 서 플라즈마를 이용해 이온화된 아르곤 등의 ... 그리고 Roughing valve를 잠가주고 Main valve와 Throttle valve를 열어 디퓨전 펌프(Diffusion pump)를 이용해 저진공에서 고진공 상태( 5.0
    리포트 | 7페이지 | 3,000원 | 등록일 2020.06.28
  • 한글파일 성균관대학교 대학원 자기소개서 [1.자신의 학문적 지향 2.진학동기 및 목표 3.미래의 연구계획 4.기타]
    그 결과, 3개월이라는 짧은 기간 동안 증착을 위한 고진공 시스템을 완성하였고, 냉각시스템 구현 및 열 증착 시스템을 구현하는 성과를 이뤄냈습니다. ... 진공 장비에 대한 실무 역량을 강화하기 위하여 학과 대학원 과목인 ‘제조공정장비특론’을 수강하였으며, 진공 장비 및 부품 회사들을 직접 방문하여 증착 장비 부품 설계 의뢰 및 제작할 ... 이 과정에서 용액공정, 포토공정 그리고 진공 증착 등 다양한 공정을 진행하여 전반적인 반도체 공정을 잘 이해하고 있습니다.
    자기소개서 | 5페이지 | 3,000원 | 등록일 2021.08.15
  • 워드파일 나노화학실험 CVD 결과보고서
    실험결론 및 해석 UV visible장비를 이용하여 흡광도와 투과도를 측정한 결과이다. 30분 증착과, 60분 증착의 결과가 확연히 다르다는 것을 그림을 통해 확인할 수 있다. ... 증착이 끝난 후 앞선 과정을 반복하여 기판을 꺼내준다. 모든 증착이 끝났으면, A,B밸브를 잠그고 D밸브를 열어 진공만 잡아주고 PID제어장치는 OFF한다. 3. ... 새로운 기판을 넣어준 후, 앞선 과정들을 반복하여 진공을 잡고, substrate온도를 올려 300℃로 맞춘 후, E밸브를 열어 1시간 증착을 해준다.
    리포트 | 3페이지 | 3,500원 | 등록일 2020.06.30 | 수정일 2021.05.29
  • 파워포인트파일 OLED 발표자료 (박막 관련하여)
    봉지 분야 핵심기술 진공 유기막 증착 기술 분해 온도가 낮은 금속 유기화합물을 이용하여 낮은 온도에서 박막을 형성시키는 기술 . ... 위한 과정에 필요한 방법 유기 발광층의 보조층을 구성하기 위해 사용되는 방법 = 증착 공정 진공챔버 → LTPS 원판 준비 → *파인메탈마스크 원판 준비 → 적정 온도 가열 → 유기물질 ... 삼성전자 LG 전자 분석 결론 LG 디스플레이 주성엔지니어링 나노신소재 LG 디스플레이 는 대형 디스플레이부분에서 삼성디스플레이 는 중 소형 디스플레이 부분에서 현재 세계시장을 주도
    리포트 | 6페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.12.15 | 수정일 2020.12.17
  • 한글파일 반도체 공정_캡스톤 디자인 1차 개인보고서
    결론 10 참고 문헌 11 1. ... Load lock chamber는 wafer 가 Main chamber의 진공을 유지하며 샘플을 안에 넣기 위해서, 샘플을 넣고 진공 펌프로 공기를 빼 주는 곳이다. ... 결론 반도체 소자의 사이즈가 점점 더 작아지고 그에 맞춰 배선의 폭도 줄어듦에 따라, 지금까지 Al(알루미늄) 배선과 Cu(구리) 배선의 사용에 신뢰성 문제가 발생하고 있다.
    리포트 | 6페이지 | 10,000원 | 등록일 2022.11.13 | 수정일 2023.01.08
  • 파일확장자 박막증착, cleaning
    일반적으로 진공 상태에서 진행되므로 진공 증착이라고 한다.가장 일반적인 물리적 기상 증착 방법으로 진공상태에서 높은 열을 금속원에 가해 기화한 다음 상대적으로 낮은 온도의 기판에 박막을 ... 배경 이론(1) 진공 증착 (Vacuum Evaporation Coating, Vacuum Deposition)의 정의와 원리진공 용기 속에 금속을 피복 하려하는 플라스틱이나 다른 ... 물체 등을 넣고 진공 중에서 알루미늄이나 은과 같은 금속 조각들을 넣고 가열하여 증발시켜 그 증기로 물체의 표면에 박막형태로 부착시키는 방법이다.
    리포트 | 12페이지 | 2,000원 | 등록일 2022.03.14
  • 한글파일 [물리학과][진공 및 박막실험]Furnace를 이용한 산화막 증착 결과보고서
    결론 도체 제조 공정에서 쓰이는 산화막을 형성하는 장비는 크게 Furnace, CVD, Evaporator가 있다는 것을 알게 되었고, 진공이 아닌 습식공정으로 Sol-gel법으 이용한 ... Furnance를 이용한 산화막 증착 1. ... 실험 목적 도체 제조 공정에서 쓰이는 산화막을 형성하는 장비는 크게 Furnace, CVD, Evaporator가 있으며 진공이 아닌 습식공정으로 Sol-gel법을 이용한 TEOS
    리포트 | 2페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.09.23
  • 워드파일 A+ 빋은 PEDOT PSS 유기 및 은 무기 박막 두께 및 전기전도도 측정 - 신소재결과보고서
    증착기를 통해 은을 증착하였는데 우선 저진공을 잡은 뒤 고진공을 잡아 기체 불순물을 없앤 상태에서 전기적 저항열을 그 결과 무기 박막의 가로, 세로 길이가 달랐고 이에 따라 면적이 ... 무기 박막 제조의 경우 열증착기를 통해 은 100nm을 증착한 샘플 4개를 제조하였다. ... 무기 박막을 제조할 때는 은 100nm로 두께를 통일시켜 증착을 진행하였다.
    리포트 | 4페이지 | 2,500원 | 등록일 2023.12.29
  • 한글파일 백금코팅 나이오븀의 전극 활용 가능성에 대하여 (재료공학실험)
    하지만 원자층 단위로 한층씩 증착하다보니 증착속도는 느린편이다. ALD가 증착되는 방식 ? 진공펌프를 이용해 챔버 내부를 진공으로 만든다. ? ... 결론 이번 실험을 통해 Nb 위에 Pt를 ALD로 증착하여 전극으로서의 가능성을 확인해 보고자 하였다. ... 먼저 ALD는 원자층 단위로 증착이 가능하기 때문에 다른 증착법에 비해서 매우 미세한 두께까지 증착이 가능하다.
    리포트 | 8페이지 | 8,900원 | 등록일 2021.03.24
  • 워드파일 Photo lithography 결과보고서
    Soft Baking 작업 후 기판을 노광기계 위에 놓고 진공을 잡아 고정시킨 후, [그림2]에서의 마크도 진공으로 고정시킨다. ... Soft Baking 작업 후 기판을 노광기계 위에 놓고 진공을 잡아 고정시킨 후, [그림4]에서의 마크도 진공으로 고정시킨다. ... Photo Lithography 결론 : Photo Lithography 실험을 통해 Photo Lithography 공정의 과정을 이해하고 실제로 실험을 진행하고 조건을 달리하여
    리포트 | 5페이지 | 1,500원 | 등록일 2019.10.13
  • 한글파일 ITO glass를 이용한 OLEDPLED 제작 공정 결과
    진공 분위기에서 증착되야 되기 때문에 질소 분위기인 glove box에서 transfer chamber로, 그리고 transfer chamber에서 분위기를 바꾼 후 적합한 진공 분위기인 ... 결론 OLED와 PLED의 제작 공정을 살펴보고 실습하며, 공통적인 부분과 다른 부분을 이해하는 시간이었다. cleaning부터 마지막 encapsulation 공정까지 실험을 준비하고 ... 기판에 Al를 증착할때 같이 ETL을 증착한다.
    리포트 | 10페이지 | 1,000원 | 등록일 2019.12.16
  • 한글파일 [미래첨단소재 설계 레포트] 생체 세라믹 재료를 이용한 인공뼈 설계
    따라서 생체친화성을 높이기 위해 특별히 Coating하는 공정이 필요하다 3.5.2 Coating 공정의 종류 : pvd, cvd, ald - PVD : PVD란 진공상태에서 화학반응을 ... 표면 반응을 이용하여 원자 층 단위로 증착을 하기 때문에 증착 속도가 상당히 느려서 수백Å 이상의 두께를 가지는 박막을 증착하는 데에는 어려움이 있다. ... 그림 12 ALD Process system ● 결론 4. 생체 불활성의 다공질 뼈는 생체 내에서의 친화성이 있고 생체 조직이나 세포에 손상을 주지 않는다.
    리포트 | 16페이지 | 5,000원 | 등록일 2024.02.12
  • 한글파일 [기초공학실험]Cu film의 전기적 특성 분석 실험
    ⓐ (400℃) 그림ⓑ (500℃) 고찰 ①,②,③을 통하여 Sputtering 후 Cu박막의 열처리리 시 상대적으로 고온에서 진행해야 비저항이 낮은 Cu 박막을 얻을 수 있다는 결론을 ... 이러한 현상을 "Sputtering 현상" 이라고 한다. [ Glow discharge - 압력이 100~103 Pa 정도되는 진공 내의 두 개의 전극 간에 고전압을 걸어주었을 때, ... 얻는다 4) Cu의 고유값(1.67)과 실험에서의 비저항의 오차 원인 ① 클리닝시 불순이 충분히 제거되지 않아서 불순물이 Cu와 반응하였을 가능성 ② 열처리단계에서 고진공상태에 충분히
    리포트 | 8페이지 | 3,200원 | 등록일 2019.09.02 | 수정일 2020.08.10
  • 한글파일 [물리학과][진공 및 박막실험]Ellipsometer를 이용한 박막의 두께 측정 결과 보고서
    이 밖에 여러 가지 금속이나 반도체 또는 절연물 등을 재료로 삼아 금속박막 ·반도체박막 ·절연박막 ·화합물 반도체박막 ·자성(磁性)박막 ·유전체박막 ·집적회로 ·초전도박막 등이 진공증착법 ... 결론 Ellipsometer를 이용하여 박막의 두께 측정를 측정할 수 있었다. 또한 레이저의 반사를 통해서 박막의 두께를 알아보았다. ... (증기건조법)을 위시하여 전기도금법, 기체 또는 액체 속의 산화법, 화합물 열분해법, 전자빔 증착법, 레이저빔 증착법 등에 의해 만들어진다.
    리포트 | 3페이지 | 1,000원 | 등록일 2020.09.23
  • 한글파일 [나노재료공학] 나노와이어 레포트
    잉크 젯프린팅법은 막 증착과 패터닝 공정을 간단한 인쇄 공정 을 통해 진행할 수 있어 기존 진공 또는 식각 공정에서 사 용하고 있는 마스크가 필요 없으며 인쇄 패턴을 쉽게 제 어할 ... 결론 용액기반 투명전극은 우수한 투명전도 특성과 함께 간단한 용액 공정으로 환경에 제약없이 대면적 생산이 가능 하다는 장점이 있어 다양한 광전자 기기에서 관심을 받고 있다. ... 두 번째로 는 용액기반 공정법을 이용하여 막을 증착 하는 단계이다.
    리포트 | 4페이지 | 1,500원 | 등록일 2019.12.19
  • 워드파일 정보디스플레이학과 광전자공학 1차 결과 보고서 Mechanoluminescence(ML)
    그러나 복잡한 구조의 경우 깊은 곳까지 똑같이 코팅하기 위해 진공 증착을 사용하기도 한다. ... 이러한 빛에 대한 원인에 대한 탐구는 결론 및 고찰에서 살펴보도록 하겠다. ... 진공 통 안의 Ar기체의 방전으로 타깃의 원자나 분자를 튀어 나오게 하여 기판 위에 막을 형성한다.
    리포트 | 5페이지 | 1,000원 | 등록일 2024.01.30
  • 한글파일 합격 자기소개서 (고려대-전기전자공학부, 성균관대-소프트웨어학과) (1~3번문항 공통, 4번문항 각각)
    약 50도 이상 기울였을 때 화면이 회전하는 모습을 관찰하였고, 스마트폰은 특정 가속도 값을 기준으로 화면이 회전하도록 설계되어 있다는 결론을 도출할 수 있었습니다. ... 비록 금속을 증착시키는 과정에서 회로가 남지 않아 원하는 결과를 얻어내지는 못했지만, 금속과 웨이퍼 사이의 결합력 부족 등 여러 실패원인을 분석함으로써 연구자가 가져야할 분석력을 키울 ... 바로 진공장치를 실제로 만들어내는데 성공한 것이었습니다. 완벽한 진공은 아니었지만 이번 탐구실험은 굉장히 큰 의미가 있었습니다.
    자기소개서 | 5페이지 | 3,000원 | 등록일 2021.01.17 | 수정일 2021.01.18
  • 한글파일 ITO Film 제조 및 특성 평가 결과보고서
    진공이 유지된 Chamber내에서 Sputtering 기체로 불활성 물질인 아르곤(Ar)가스를 흘려주면서 Target에 교류 전원(RF)을 인가하면(㎠당 1W정도), 증착하고자 하는 ... 만약 정밀하고 재현성 있는 데이터를 얻고 싶다면조원끼리 토의를 해 본 결과, 전압이 강해지면 기체방전이 더 많이, 그리고 더 잘 일어날 것이라는 결론을 내렸습니다. ... 증착후 열처리도 그 특성에 옇양을준다고 알려져있다.
    리포트 | 20페이지 | 5,000원 | 등록일 2020.03.01 | 수정일 2022.12.03
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2024년 06월 13일 목요일
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