Photo lithography 결과보고서

소개글

물리학과 4학년 실험과목에서 제가 작성했던 보고서입니다.
정말 최선을 다해서 보고서를 작성했고 그 결과 성적은 A+받았습니다.

목차

1. 개요
2. 실험결과
3. 결론
4. 참고문헌

본문내용

Photo Lithography 공정을 실제로 실험하였다. Photo Lithography 실험은 다음과 같은 실험 과정을 통해 진행되었다.
[1] 유리기판을 아세톤, 에탄올, 증류수를 이용하여 이물질을 제거한다.
[2] 유리 기판위에 PR용액을 떨어뜨린 뒤, 스핀코터를 이용하여 유리 기판위에 골고루 형성시킨다.
[3] Soft Baking 과정을 통해 유리 기판위의 PR을 안정화시킨다.
[4] 원하는 마크를 선택한 후 노광기계를 작동시켜 PR을 빛에 노출시킨다. 실험에서 사용한 PR은 positive PR 용액이므로 빛에 노출된 PR은 용해성이 증가하여 현상과정 때 제거되게 된다.
[5] 현상액을 이용 빛에 노출된 부분의 PR용액을 제거한다.
[6] Hard Baking 과정을 통해 PR을 굳게하고 안정화시킨다.

참고 자료

Photo lithography : https://en.wikipedia.org/wiki/Photolithography (accessed May, 14, 2019)
포토공정 : https://www.skcareersjournal.com/908 (accessed May, 14, 2019)
에칭공정 : https://www.skcareersjournal.com/959 (accessed May, 14, 2019)
Photo Resist : https://whereisusb.tistory.com/83?category=687509 (accessed May, 14, 2019)