CVD 결과보고서

소개글

CVD 결과보고서

목차

1. 실험 제목 : CVD method를 통한 ZnO NWS synthesis
2. 실험 날짜 :
3. 이 름 :
4. 시약 및 기구
5. 실험 목적
6. 실험 방법
7. 실험 결과
8. 토 의& 감 상

본문내용

5. 실험 목적
① Nanowires의 기본 개념 정리
② ZnO nanowires의 성질과 장단점에 대해 생각해본다.
③ CVD방법을 통해서 ZnO nanowires를 합성하고, SEM을 통해서 nanowires가 합성되었는지 확인한다.
6. 실험 방법
1. Acetone을 이용하여 tube와 boat 2개 씻는다.
2. Boat1은 Si(100) P-type인 wafer를 3개 나란히 일정 간격을
두고 올려놓는다.
3. Boat2는 powder를 넣고 잘 섞어준다.
ZnOpowder : 0.040g
graphite : 0.024g
4. Quartz tube를 furnace down 방향에 넣고 고정시킨다.

6. Quartz tube를 furnace up 방향에 넣고 고정시킨다.
7. Ar주입. Ar을 먼저 흘려준 다음, MFC controller를 이용하여
30sccm 흘려준다.
8. 10분간 흘려준다.(annealing과정)
9. Furnace controller를 이용하여 two zone 온도를 조절.
up : 960°C
down : 440°C
10. 온도 올리는 시간: 10분
반응시간: 40분
총 반응시간: 50분
11. 반응이 끝나면 400°C까지 cooling 시킨 후, furnace를 열어둔다.
(150°C까지 완전히cooling 시킨다.)
12. Ar controller를 이용하여 Ar을 끈 후, Ar을 잠근다.
13. Furnace up & down쪽을 열어서 Boat1+ Boat2를 꺼낸다.
14. SEM 시편제작

참고 자료

없음